国产直线电机位移平台,定位精度是否可以做到1um? 点击:17397 | 回复:47



力川电气

    
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发表于:2011-07-22 23:07:20
楼主

国产直线电机位移平台,定位精度是否可以做到1um?  看到Parker的微位移直线电机平台还可以做到1um以下。

是直驱的直线电机,不是丝杠的那种。




onlylm2008

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发表于:2011-07-26 13:29:51
21楼

20mm 可以做到定位精度1um.

 

 

chmobot

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发表于:2011-07-26 16:05:34
22楼
@力川电气:
光是一个行程20mm这样简单的需求,不够具体。

性能和价格总是一对矛盾。可否更具体一点,比如:
- 直线电机:有铁心or无铁心,连续/峰值电流是多少
- 反馈:数字or模拟光栅尺,光栅尺or激光尺,分辨率多少
- 传动:普通导轨or气浮
- 负载情况
- 运动轨迹
- 除定位精度(1um)之外的性能指标要求:
  - 调整时间,跟随偏差,速度平稳性,静止抖动......
- 基座:大理石or铝型材

ps:我不是做直驱平台这块的,只是基于自己所见所闻提出,如有不当请见谅了。

刘岩利

  • [版主]
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发表于:2011-07-26 18:36:02
23楼

定位精度要求1um,那问题不在电机,在平台。

onlylm2008

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发表于:2011-07-27 12:07:21
24楼

对,难点出在 平台机械设计。

力川电气

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发表于:2011-07-27 12:35:39
25楼

这两天稍微有点忙。 谢谢Alading的建议! 也谢谢各位朋友出谋划策。

进口平台就是一个字“贵”呀,一个可以买好几个国产的,希望国产的尽早起来。

现阶段,可能滚珠丝是较佳选择,因为不做闭环电控工装,虽然是电控的,但是是手动发脉冲位移电控的方式,所以重复精度和定位精度影响不大,主要的影响是步进的精度要足够。

如果是全自动化,就对定位精度和重复精度要求比较高。

seajiang

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发表于:2011-07-29 06:48:52
26楼
需要的推力大吗?如果不大(小于4N),可以考虑采用国产的压电直线电机。我可提供这方面的信息。

jmart

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发表于:2011-12-29 16:48:58
27楼

你好,苏州骏玛特自动化是专业生产直线电机平台的,大伙说的1UM的定位精度是没有问题的,关键还需要其他一些技术指标,比如跳动,直线度等,现有就是行程,反馈用进口的光珊尺0.1U的肯定够了,如果仅仅是对定位精度有要求,对直线电机来说肯定没问题,定位精度可以通过驱动器来做点补或线补,其实重复定位精度是实际的精度,如果谁有具体直线电机问题可以联系我  毛先生:13771838865

jmart

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发表于:2011-12-29 16:49:27
28楼

jmart

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发表于:2011-12-29 16:50:02
29楼
你好,苏州骏玛特自动化是专业生产直线电机平台的,大伙说的1UM的定位精度是没有问题的,关键还需要其他一些技术指标,比如跳动,直线度等,现有就是行程,反馈用进口的光珊尺0.1U的肯定够了,如果仅仅是对定位精度有要求,对直线电机来说肯定没问题,定位精度可以通过驱动器来做点补或线补,其实重复定位精度是实际的精度,如果谁有具体直线电机问题可以联系我 毛先生:13771838865

风云流水

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发表于:2012-01-12 10:12:32
30楼
我公司是美国MicroE光栅的授权代理商,提供1u—50nm各种分辨率的光栅读数头,光栅尺的栅距为20u,有自带光刻零位!价格比雷尼绍,海德汉稍微低些,保证品质!具体事宜请详谈!王先生:13550177725

gh_3424

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发表于:2012-01-13 17:29:11
31楼
回复内容:
对:onlylm2008 关于

对,难点出在 平台机械设计。

 

直线电机国内局限有很多,但都是基础不牢,我遇到一家公司,做晶圆光刻设备,光学处理系统、平台全部美国进口,回来搭搭,系统集成一下,加个LOGO就骗钱去了

内容的回复:


大家搞来搞去,最后终于搞到机械设计上去了,其实机械技术这就反应了我们工业基础

闫书亚

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发表于:2012-01-17 15:28:12
32楼

我在之前已经做过好几个平台了,包括机床展上 发那科的实验平台,如果需要的话可以交流下 Q360834439

 

juneshao

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发表于:2012-07-03 15:07:49
33楼

你好!

根据的你行程来看!定位1UM 不是什么难事了。

目前我们批量生产的平台300X300mm  定位精度5微米(不含控制卡补偿),主要应用晶圆切割设备。

如果加上ACS兄的控制卡做全闭环控制,定位到2微米没有问题。

苏州原亚精密科技有限公司

 邵先生:18662498983  qq:254528247  欢迎探讨。

 

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发表于:2014-01-08 16:26:38
34楼

引用 juneshao 的回复内容: 你好!根据的你行程来看!定位1UM 不是什么难事了。目...


不知道你们应用的晶圆切割设备 是什么晶圆设备,硅晶圆,蓝宝石晶圆?,300mmX300mm行程,不补偿是不可能达到的,首先温度变化就决定定位精度了,不过貌似你们在这个行业还没多少名气,也没看到哪家买的你们的产品。本人在激光加工设备行业呆过10年以上,设计高精度平台上百种。有需要设计纳米平台的可以找我,定位精度在50纳米的,行程小于100,负重小于1.5Kg,速度小于50mm/S;



依安人

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发表于:2014-01-17 14:28:44
35楼

哈哈!这么厉害!定位精度50纳米!反馈的分辨率是多少啊!

goldage

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发表于:2014-01-23 11:46:09
36楼

高端大气上档次,谁给我点资料看看,可能有机会用到啊

笨鳥慢飛

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发表于:2014-01-27 10:40:01
37楼

回复内容:

对:   引用 juneshao 的回复内容: 你好!根据的你行... 内容的回复!


又是個吹牛不犯法的大師 精度50nm 怎麼檢驗 你的檢驗條件又是什麼

byang1986

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发表于:2014-02-04 22:54:25
38楼

初来乍到,我认为很多人都是拿分辨率当精度去讲了。1um分辨率可以做到,定位精度,呵呵,哪位可以先给个准确概念?

我是搞测量型传感器的,我们业内很多人硬拿分辨率当精度去忽悠客户,我看到都气。有些客户也没辨识能力。

精度相关的概念现在国内外搞的很乱,给了很多厂商投机取巧的漏洞。

gk_smith

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发表于:2014-02-26 14:41:28
39楼

如果用導軌支撐很難達到這個精度

aaaabc

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发表于:2014-03-03 11:42:30
40楼

1个u,根本不可能!

说有可能的都是在吹牛皮!

楼主的需求,可以用陶瓷电机试试

但一个u不可能达到!


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