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国产直线电机位移平台，定位精度是否可以做到1um？ 点击：17415 | 回复：47



力川电气

    
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发表于：2011-07-22 23:07:20
楼主

国产直线电机位移平台，定位精度是否可以做到1um？  看到Parker的微位移直线电机平台还可以做到1um以下。

是直驱的直线电机，不是丝杠的那种。

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onlylm2008

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发表于：2011-07-26 13:29:51
21楼

20mm 可以做到定位精度1um.

 

 

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chmobot

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发表于：2011-07-26 16:05:34
22楼
@力川电气：
光是一个行程20mm这样简单的需求，不够具体。

性能和价格总是一对矛盾。可否更具体一点，比如：
- 直线电机：有铁心or无铁心，连续/峰值电流是多少
- 反馈：数字or模拟光栅尺，光栅尺or激光尺，分辨率多少
- 传动：普通导轨or气浮
- 负载情况
- 运动轨迹
- 除定位精度（1um）之外的性能指标要求：
  - 调整时间，跟随偏差，速度平稳性，静止抖动......
- 基座：大理石or铝型材

ps：我不是做直驱平台这块的，只是基于自己所见所闻提出，如有不当请见谅了。

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刘岩利

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发表于：2011-07-26 18:36:02
23楼

定位精度要求1um，那问题不在电机，在平台。

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onlylm2008

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发表于：2011-07-27 12:07:21
24楼

对，难点出在 平台机械设计。

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力川电气

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发表于：2011-07-27 12:35:39
25楼

这两天稍微有点忙。 谢谢Alading的建议！ 也谢谢各位朋友出谋划策。

进口平台就是一个字“贵”呀，一个可以买好几个国产的，希望国产的尽早起来。

现阶段，可能滚珠丝是较佳选择，因为不做闭环电控工装，虽然是电控的，但是是手动发脉冲位移电控的方式，所以重复精度和定位精度影响不大，主要的影响是步进的精度要足够。

如果是全自动化，就对定位精度和重复精度要求比较高。

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seajiang

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发表于：2011-07-29 06:48:52
26楼
需要的推力大吗？如果不大（小于4N），可以考虑采用国产的压电直线电机。我可提供这方面的信息。
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jmart

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发表于：2011-12-29 16:48:58
27楼

你好，苏州骏玛特自动化是专业生产直线电机平台的，大伙说的1UM的定位精度是没有问题的，关键还需要其他一些技术指标，比如跳动，直线度等，现有就是行程，反馈用进口的光珊尺0.1U的肯定够了，如果仅仅是对定位精度有要求，对直线电机来说肯定没问题，定位精度可以通过驱动器来做点补或线补，其实重复定位精度是实际的精度，如果谁有具体直线电机问题可以联系我  毛先生：13771838865

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jmart

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发表于：2011-12-29 16:49:27
28楼
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jmart

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发表于：2011-12-29 16:50:02
29楼
你好，苏州骏玛特自动化是专业生产直线电机平台的，大伙说的1UM的定位精度是没有问题的，关键还需要其他一些技术指标，比如跳动，直线度等，现有就是行程，反馈用进口的光珊尺0.1U的肯定够了，如果仅仅是对定位精度有要求，对直线电机来说肯定没问题，定位精度可以通过驱动器来做点补或线补，其实重复定位精度是实际的精度，如果谁有具体直线电机问题可以联系我 毛先生：13771838865
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风云流水

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发表于：2012-01-12 10:12:32
30楼
我公司是美国MicroE光栅的授权代理商，提供1u—50nm各种分辨率的光栅读数头，光栅尺的栅距为20u，有自带光刻零位！价格比雷尼绍，海德汉稍微低些，保证品质！具体事宜请详谈！王先生：13550177725
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gh_3424

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发表于：2012-01-13 17:29:11
31楼
回复内容：
对：onlylm2008 关于

对，难点出在 平台机械设计。

 

直线电机国内局限有很多，但都是基础不牢，我遇到一家公司，做晶圆光刻设备，光学处理系统、平台全部美国进口，回来搭搭，系统集成一下，加个LOGO就骗钱去了

内容的回复：

大家搞来搞去，最后终于搞到机械设计上去了，其实机械技术这就反应了我们工业基础
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闫书亚

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发表于：2012-01-17 15:28:12
32楼

我在之前已经做过好几个平台了，包括机床展上 发那科的实验平台，如果需要的话可以交流下 Q360834439

 

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juneshao

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发表于：2012-07-03 15:07:49
33楼

你好！

根据的你行程来看！定位1UM 不是什么难事了。

目前我们批量生产的平台300X300mm  定位精度5微米（不含控制卡补偿），主要应用晶圆切割设备。

如果加上ACS兄的控制卡做全闭环控制，定位到2微米没有问题。

苏州原亚精密科技有限公司

 邵先生：18662498983  qq：254528247  欢迎探讨。

 

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发表于：2014-01-08 16:26:38
34楼

引用 juneshao 的回复内容： 你好！根据的你行程来看！定位1UM 不是什么难事了。目...

不知道你们应用的晶圆切割设备 是什么晶圆设备，硅晶圆，蓝宝石晶圆？，300mmX300mm行程，不补偿是不可能达到的，首先温度变化就决定定位精度了，不过貌似你们在这个行业还没多少名气，也没看到哪家买的你们的产品。本人在激光加工设备行业呆过10年以上，设计高精度平台上百种。有需要设计纳米平台的可以找我，定位精度在50纳米的，行程小于100，负重小于1.5Kg，速度小于50mm/S；



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依安人

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发表于：2014-01-17 14:28:44
35楼

哈哈！这么厉害！定位精度50纳米！反馈的分辨率是多少啊！

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goldage

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发表于：2014-01-23 11:46:09
36楼

高端大气上档次，谁给我点资料看看，可能有机会用到啊

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笨鳥慢飛

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发表于：2014-01-27 10:40:01
37楼

回复内容：

对：   引用 juneshao 的回复内容： 你好！根据的你行... 内容的回复！

又是個吹牛不犯法的大師 精度50nm 怎麼檢驗 你的檢驗條件又是什麼

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byang1986

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发表于：2014-02-04 22:54:25
38楼

初来乍到，我认为很多人都是拿分辨率当精度去讲了。1um分辨率可以做到，定位精度，呵呵，哪位可以先给个准确概念?

我是搞测量型传感器的，我们业内很多人硬拿分辨率当精度去忽悠客户，我看到都气。有些客户也没辨识能力。

精度相关的概念现在国内外搞的很乱，给了很多厂商投机取巧的漏洞。

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gk_smith

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发表于：2014-02-26 14:41:28
39楼

如果用導軌支撐很難達到這個精度

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aaaabc

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发表于：2014-03-03 11:42:30
40楼

1个u,根本不可能!

说有可能的都是在吹牛皮!

楼主的需求,可以用陶瓷电机试试

但一个u不可能达到!

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