1.1.1.   线性测量构建

SJ6000激光干涉仪要进行线性测量，需使用随附的两个外加螺丝将其中的一个线性反射镜安装在分光镜上，组装成“线性干涉镜”。线性干涉镜放置在激光头和线性反射镜之间的光路上，用它的反射光线形成激光光束的参考光路，另一束光入射到线性反射镜，通过线性反射镜的线性位移来实现线性测量。如下图所示。

图 6-线性测量构建图

1.1.2.   线性测量的应用

1.1.2.1.   线性轴测量与分析

SJ6000激光干涉仪可用于精密机床、三坐标的定位精度、重复定位精度、微量位移精度的测量。测量时在工作部件运动过程中自动采集并及时处理数据。

图 9-激光干涉仪应用于机密机床校准

图 10-激光干涉仪应用于三坐标机校准

SJ6000软件内置10项常用机床检验标准，自动采集完数据后根据所选标准自动计算出所需误差数据，可生成误差补偿表，为机床、三坐标的误差修正提供依据。

图8-数据采集界面

图 9-数据处理界面

图 10-数据分析曲线界面

1.1.2.2.   高精度传感器校准

利用激光干涉仪对位移传感器检定成为发展趋势，其特点是反应速度快、测量精度高。

图 11-激光干涉仪应用于传感器校准

1.1.2.3.   实验室标准器

激光干涉仪是高精度测长仪器，因光波具有可以直接对米进行定义且容易溯源的特点，因此国家实验室多用激光干涉仪做实验室标准器进行量值传递。

图 12-激光干涉仪应用于实验室

1.1.2.4.   轻型线性附件的应用

对于光学镜重量或尺寸可能影响机器动态性能或光学镜安装遇到困难的应用场合，中图仪器提供的轻型线性附件，其小角锥反射镜重量在8g以内，可直接吸附在测量设备上，以此降低镜组附件重量对机器测量的影响。详见下图：

图 13-轻型线性附件

图 14-轻型线性附件应用于测长机实例

图 15-轻型线性附件应用于螺纹机测量实例

1.1.2.5.   可调转向镜的使用

可调转向镜可以把水平光线倾斜20°以上的角度，用于倾斜机床、三坐标机的测量。

图 16 倾斜机床的定位精度检测

1.1.2.6.    测头夹具的使用

测头夹具能固定在φ32mm的三坐标探头上，方便固定线性反射镜。