薄膜真空计 是迄今为止唯一得到公认的可作为低真空测量（0.01－－100Pa）工作副标准的一种真空仪器，
也是我国唯一具有计量校准检定规程的一种真空度计量器具（校准参照规程：Q/WHJ46-1998标准型电容薄膜真空计校准规程）

用于真空设备的新型薄膜真空计：与传统的电阻真空计、热偶真空计、皮拉尼真空计有何不同呢？
电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计，原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化，即产生了电容的变化，再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化，组成为输出信号，所以，它的测量是直接反映了真空压力的变化值，而且只与压力有关，与气体成分无关，即：薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。
而我们常用的真空计往往是电阻计、热偶计居多，是一种间接测量的真空计，是一种热传导型的真空测量方法，简单一点来说，就是通过测量感受气体温度的方法来间接测量气体压强（真空度），是一种类似于大家很熟悉热电阻、热电偶的测量方法。由于测量原理上的先天不足，这类真空计的测量精度、测量稳定度是很不好的。其测量误差一般比薄膜真空计大1~2个以上数量级（误差大于30%），尤其是在低真空段（0.01－－-100Pa），误差更大.另外测量前还需要零点、满度校正，很难用于在线测量控制。

另外，热传导的测量方式与被测气体的分子量大小关系极大，遇到氢气等小分子量的气体就无法直接测量，（需要通过传导系数来换算校正），而薄膜真空计是一种全压型的真空计，其测量结果与气体成分无关，只与真空度压力有关。所以两者的测量精度不在一个数量级的。

但是由于它制造容易、价格低廉，在许多的要求较低真空设备上还普遍使用着,……用过电阻计的都领教过它的烦心。许多人抱怨花了3、4千元买到进口的真空传感器也误差大、毛病多?就是因为老外的这个价位的产品还是老的热传导测量机理的真空传感器
随着现代真空应用技术的发展，真空应用设备对仪器仪表的要求越来越高，特别是对测量精度、稳定性要求、以及自动控制性能要求也越来越高，因为这直接关系到真空设备的整体性能质量，关系到真空应用技术或应用工艺的应用效果，甚至于成功与否。在精细化工、真空冶炼、真空热处理、真空浸渍、真空冷冻干燥、真空绝缘处理、电真空器件、半导体材料生产、高特新材料、新能源设备等等行业中尤其特出。
许多新设备、新工艺、新产品的开发无法得到预想的技术指标，很可能就是真空测控仪表选型不当、测量控制精度无法达到要求所致。

当然，薄膜真空计也不是没有缺点的，首先是价格高，国内一般是4-6千元，量限低的贵些；进口则1.6—2.5万元/只左右；其次，国内老式的薄膜规容易零漂，需要经常校正，要求高的经常校正。主要是技术陈旧，国内材料科学相对落后造成的，温度稳定性不好；还有一个量程跨度小，国内的不超过3个数量级。第三是老式电容规规娇气，容易坏，用过的度知道，有油污进去很难清洗，要用丙酮，清洗挽救1\3往往会报废，小量程的2\3会坏。

所以，我们希望有一种具有国产价格、进口品质的薄膜真空计。要做到这一点，就需要了解
国外的薄膜真空计与我们旧式国产产品的相比有什么不同呢？
一是陶瓷薄膜真空压力测量技术、
二是智能仪表技术。
首先是通过大规模厚膜电路，将薄膜电容测量机构和传感器调理电路微型化，做在陶瓷基片上，另外，将智能仪表电路微型化，一次仪表和二次仪表合二为一，所以量程宽、精度高、体积小；

现在，国内学习和引进国外先进技术，根据我国真空设备配套测控仪表的特点，研制出的陶瓷薄膜真空计，其测量精度和稳定性已经完全可以与进口产品相媲美了，唯一不同的就是没有合二为一，根据国内设备的习惯，控制柜上面有个数字面板表，不仅不是多余，有时还是必须得，少了它似乎很不方便的。不知道大家是否有同感。

采用专门设计的具有真空测控特点的精密二次仪器仪表，借籍于现代智能仪表技术的科技成果，有利于提供测量的精度、分辨率、稳定性和可靠性，增加智能化的自动控制功能，可以配接任何一种模拟量、数字通信的接口，给真空炉设备的自动控制带来极大地方便，可以快速升级为智能型的真空设备。