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伺服定位如何做到纳米级？ 点击：1908 | 回复：16



水之蓝

    
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发表于：2005-02-12 23:04:00
楼主
一直有个疑问，伺服定位精度最高能到达多少？目前在IC领域中的纳米级工艺产品是如何实现的？如果是用伺服电机的话，是否只有直线电机配上光学尺才能达到如此高的精度！请各位大人不吝赐教，小弟这里先谢过了！
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刘岩利

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发表于：2005-02-13 13:25:00
1楼
直线电机加光学尺，到微米以下是可以的。到纳米，我很怀疑我们的国防工业有没有这个实力，即使有，也不是在这样的论坛可以随便问问就能知道的。
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水之蓝

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发表于：2005-02-14 13:23:00
2楼
但是开发CPU以及IC代工这些工艺中所使用的技术，例如：0.13um，0.11um，0.09um等虽然不到纳米级，但也属于10倍的纳米级啦。这些技术在我国不也有应用吗？如中芯国际，京东方等IC代工或LCD厂商……
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刘岩利

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发表于：2005-02-15 10:43:00
3楼
芯片制作的工艺，不是直接用伺服加工的。对于工艺的细节，应该要专业人士来解答，不过，我还是知道，最终的加工，是用光学方法缩小的。
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水之蓝

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发表于：2005-02-15 20:27:00
4楼
是这样啊，那谢谢刘工了！
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Tiger Zhong

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发表于：2005-02-20 01:12:00
5楼
纳米级精度，对于各种条件要求都很高。在我知道的直线产品中，有一种直线电机可以达到。但是该产品定位长度最长也就是25mm。
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刘岩利

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发表于：2005-02-21 15:59:00
6楼
to TigerZhong 是空载定位吧？如果有负载，考虑到负载的阿贝误差，谁敢自称定位到纳米？
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Tiger Zhong

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发表于：2005-02-22 23:43:00
7楼
真不好意思，数据搞错了。真正的数据为重复定位精度0.4u，定位精度25mm时3u,分辨率为10nm，负载为8KG，最大力12N，最大加速度为4G，100%工作制。
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刘岩利

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发表于：2005-02-23 09:00:00
8楼
25mm行程，精度只有3u，为什么不装好一点的光栅尺？
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根号三

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发表于：2005-02-23 09:11:00
9楼
德国PI直线伺服的分辨率16纳米，定位精度50纳米
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刘岩利

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发表于：2005-02-23 10:53:00
10楼
PI如果说能定到纳米，我相信。顺便问一下，这款电机行程多少？
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东方意如

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发表于：2005-02-23 16:19:00
11楼
上边的大虾能否给小弟介绍一下目前有没有能够将旋转定位的伺服系统的精度做到10u弧度级的，推荐一下哪些直流伺服电机能够做的到，并且定位时间非常非常的小，不超过5ms？最大调整角度也不大，大约16m幅度，怎么样，够猛吧，小弟正在找，没有头绪，大虾们给介绍介绍，谢不尽了！
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Tiger Zhong

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发表于：2005-02-23 22:24:00
12楼
10nm分辨率的编码器应该不算差。3微米的定位精度算可以了。不过不知道国内哪里可以去检测这种产品的定位准确度？
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刘岩利

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发表于：2005-02-24 09:35:00
13楼
只有25mm的行程，我觉得定位精度1u不是太高的要求。 至于国内哪里能检测，公司卖过几个这样的滑台，有的客户自己用双频激光检测，多数根本就不关心绝对精度，只关心分辨率和重现性。如果一定要检测的话，各省都有计量研究院（所），可以找他们。不过，要测到这个精度，也不便宜。
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Tiger Zhong

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14楼
是啊，其实大部分情况下比该精度要高。只是这是个标准产品，我们公司是根据实际产品在最大冲击下实测出来最低的数据。在我们准备的手册上，原来写的精度比这个要高很多的，但作为对外的统一数据时没有采用。真到纳米级好象不是各省的计量研究院可以搞定的。采用的检测方法一般倒是激光干涉。
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根号三

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15楼
PI这款真空直线伺服电机的行程是50mm，正在使用
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刘岩利

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16楼
如果真是纳米的精度，我不清楚，不过微米级的数据，好象是可以的。我在北京，曾经咨询过，不过具体情况也记不清了，反正最终是没有去测。
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