对于@Q的说法,有一点不统一。通过细分提高分辨率,至少可以在一定范围内(这几个字很重要)提高光栅尺本身的重复精度。
就以@Q上面举例的那根海德汉的尺来说,不细分,分辨率5um,那么,尺自身的重复性也就是5um 了,分到1um,尺本身的重复性也完全可以到1um。当分辨率再靠细分提升,提到电子细分误差这个数量级以后,才是没有意义的。以20um刻线周期的光栅尺来说,0.1um的分辨率相对于0.5um的分辨率,是否能提高重复精度,对于海德汉来说,恐怕就要看具体型号了,至少对于部分型号,是有意义的。
对于上面列出的5个条件,当然,提高分辨率不能改善其中任何一个,但是,不细分,分辨率本身有可能成为限制精度的瓶颈。
如果平台精度不够,除非检测出来的精度、重复精度都在光栅尺分辨率接近,否则,提高光栅尺分辨率是完全没有意义的,还是改善机械部分吧。只有在手脚没毛病,只是眼睛近视的时候,配个更好的眼镜是有用的。如果手已经帕金森了,就没指望了。
至少要有重复精度,这样还有机会通过软件补偿的方式改善精度。
有个客户要求: XY平台绝对定位精度小于正负50微米, , XY 平台, 重复定位精度小于正负1微米 ,如何满足这些指标呢?
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针对这样一种客户需求,个人以为 “绝对定位精度小于正负50微米”是比较容易达成的目标,但是与 “重复定位精度小于正负1微米”严重的不符合,一般概念上,系统的重复定位精度的数值为定位精度的1/2~1/3,最多不会超过一个数量级,即1/10。所以,个人以为此案中客户提出的正负1微米的重复定位精度,是相对于0.5微米/PULSE的运动分辨率而言的定位的稳定度,而不是标准意义下的重复定位精度。如果楼主能和客户明确这一点,选型难度自然会降低很多。