单晶硅用超纯水设备的维护方法。 点击:6 | 回复:0



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发表于:2021-02-25 10:55:58
楼主

  单晶硅用超纯水设备在长时间工作后,如果不定期进行维护,就很容易被污染,今天介绍这篇单晶硅用超纯水设备的维护方法。

  1、将专用清洗液与纯净水在清洗药箱内混合。

  2、用清洗泵低流量将清洗液以低流速、低压力打至反渗透系统,并排走原水,防止清洗液稀释。

  3、保持设备温度稳定,用清洗泵将清洗液在系统中循环。

  4、清洗液在设备内浸泡一小时即可,污染较严重的反渗透膜可进行更长时间的浸泡清洗。

  5、用清洗泵大流量打入清洗液30—60分钟,使反渗透膜上被洗掉的污染物随高流速水冲走。

  6、用清水将清洗液冲去。设备冲洗后的清水需要保证pH6.5-7.5之间。




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