超高精度超短时间定位的考验 点击：3187 | 回复：47
现在接了个项目，控制一个平台在水平面X轴Y轴及垂直方向Z轴的运动，要求三个方向的精度都达到0.07um以内，定位时间在0.3秒以内，Z轴的定位时间越短越好，平台大概是长15cm,宽10cm,质量在1-2Kg左右，成本不用担心，请问高手们，这样的要求步进电机能做到吗？压电陶瓷能做到吗？该怎么考虑抖动的消除？
修改：
非常对不起，各位。
我说的70纳米只是听现场的人说的，我又仔细的看了下资料，发现范了很大的错误。
刘版主说的很对，70纳米不是定位精度也不是所谓的重复定位精度，分辨率还差不多。。。。确实70纳米太让人恐怖了。
实际的情况是X轴和Y轴的Resolution是0.3125μm，Reproducibility是±1.5μm。平台长大概15cm,宽大概10cm,行程是75mm,40mm,重小于3Kg.
翻译过来是分辨率是0.3125um,重复性是±1.5μm。
请问这两项指标，机械结构国内有厂家能保证吗？
谁有好的建议或能提供帮助可以联系sxjj04@yahoo.cn
回复内容:70纳米是绝对精度，肯定是用闭环了，直线性和平面度要求还不清楚具体的，不过非常高，这个平台上固定有多个镜头，是工业显微镜的下半部分，放大倍数高的时候，一微米的定位误差都可能完全找不到被测点。目前有日本满足这样要求的设备。它的电机用的是步进电机，真的很难想象是怎么做到定位那么准和快的。
对:刘岩利 关于内容的回复：
精度70纳米，是重复性还是绝对精度？
开环就不用想了，传动机构的任何一点变形（应力，温度）70nm就没有了。
闭环的话，如果是绝对精度，我不知道这样的位置反馈元件您在国内能不能找到。如果只是重复性的要求，用光栅尺或激光干涉仪反馈，压电陶瓷电机驱动，应该可以满足吧。
不过，既然精度指标开到70nm了，那么，直线性、平面度要求是多少啊？估计也不是一般人能做到的。
对:firstrazor 关于
要求两个方向的精度都达到1微米的机器，我见过的顾客（国外的上市公司，专业的半导体设备生产商）都花了半年时间做机体研究，每天空调一开就造成5微米的偏差，这样的问题都要花3个月找到并解决。还有很多绝对精度5微米的机器，厂商都花了老大的劲。
0.07微米精度的机器，你都还不知道如何做就接下来，我只能佩服你胆大，并祝你好运！
这里说一下，现场用的一台日本的机器确实能达到精度0.078微米，速度在0.3到0.4秒间。
我还是学生，项目是我们导师接的，我们也觉得太太超出我们的能力了，但是他接了我们就只能研究了，至于最后能不能做出来我们不管，我们只管尽自己的努力去做。
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