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光栅尺原始信号的补偿 点击：2317 | 回复：26



boat

    
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发表于：2010-12-18 21:15:49
楼主
请问各位大侠，光栅尺输出的原始信号能够进行补偿处理吗？
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ACScontrol

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发表于：2010-12-19 00:20:50
1楼
我们常说的螺补补偿的就是光栅尺吧,而且可以多次螺补.
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boat

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发表于：2010-12-19 23:09:26
2楼
可能是我没有表达清楚。我的想法是因为光栅尺本身是有误差的，而且安装也会带来误差；假设系统安装好后，某段微小距离从光栅尺得到的是100UM，而实际这段距离是120UM，能否用一个硬实时系统，将光栅尺的原始信号处理后在这段距离上输出120UM的信号，谢！
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ACScontrol

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发表于：2010-12-19 23:28:19
3楼
激光干涉仪干的就是这事!所谓的螺补就是用激光干涉仪来测量的数据后补偿的,当然了还有其它一些测量设备.
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PistoN

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发表于：2010-12-20 00:03:37
4楼

螺距补偿不是针对滚珠丝杠的螺距误差进行补偿的么？当然用激光干涉仪实际测距并补偿的，实际也不仅仅是螺距误差为主的部分，还包括位置传感器和伺服系统的误差

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ACScontrol

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发表于：2010-12-20 00:05:55
5楼
是啊,算是泛指吧!要不怎么称谓呢?
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波恩

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发表于：2010-12-20 09:16:12
6楼

螺补是否只是用于半闭环系统，上光栅尺做全闭环还需要做螺补吗？

 

楼主的问题也许可以借鉴螺补的思路。

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ACScontrol

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发表于：2010-12-20 09:53:47
7楼
"光栅尺本身是有误差的，而且安装也会带来误差"－－－－－－－－所以用激光干涉仪来做补偿
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刘岩利

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发表于：2010-12-20 17:51:08
8楼

“能否用一个硬实时系统，将光栅尺的原始信号处理后在这段距离上输出120UM的信号，谢！”

没听说过有这样的独立产品，通常在这个功能是集成在运动控制器或是位置显示器上。 

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wujp

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发表于：2010-12-20 22:53:52
9楼

首先对于你提的问题还是有办法解决的，需要用到电子凸轮轴功能。这是伺服器的功能了。

其实机床的指标一般都是这么说的，任意XXX毫米的驱离内达到多少UM的精度。

如果你要整个驱离内都达到很高的精度，只能用干涉仪改造成“光栅尺”了。

雷尼绍有几款激光干涉仪产品可以改造成位置反馈系统，很贵。

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onlylm2008

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发表于：2010-12-21 14:18:04
10楼

光栅尺自身的误差 与 尺子，读数头装配误差，以及热胀冷缩 相比， 还是可以忽略的。

但是，有的半导体前端工艺机器需要对此也补偿，或在检测速度时，进行补偿。

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ACScontrol

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发表于：2010-12-21 19:17:59
11楼

"雷尼绍有几款激光干涉仪产品可以改造成位置反馈系统，很贵。 "

 

光导纤维激光尺，它集干涉仪的性能水平与光栅的简便性于一体

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波恩

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发表于：2010-12-21 19:21:58
12楼
光导纤维激光尺的量程，分辨率，精度如何？ 性价比如何？使用是否方便？ 可否介绍一二
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ACScontrol

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发表于：2010-12-21 21:24:51
13楼

在我们的测试平台上见过但没玩过,我们那个是20nm分辨率的,找了点资料贴出来供参考!

1.System features
The RLE10 provides multiple feedback signal options, which can be user selected via switches located on the front panel.
Digital output*      633, 316, 158, 79, 39, 20 and 10nm resolution in RS422 format

Data rate                312.5KHz to 20MHz

Analog output        1Vpp sin/cos, for interpolation down to nanometer levels

Error detection      Over speed      Beam block         Beam low


Signal strength     0-1 V analog output

2.System performance

                                Plane mirror                                                               Retroreflector
Range                           1m                                                                                 4m
Velocity limit                 1m/s                                                                             2m/s

Linearity                        +/-5nm                                                                        +/-10nm

Resolution                     10nm                                                                          20nm
Accuracy
Uncompensated                                            +/-50ppm
Compensated*                                               +/-1ppm

Accuracy obtained using the Renishaw  environmental compensation system.

3.Configuration options

The RLE10 system is a combination of two components, the RLU10 laser head and RLD10 detector head. These are available in different varieties to suit all your application needs.

The RLU10 is available in single or dual
axis format with 3mm beam diameters and
3m fiber length.
• RLD10s are available for use with plane
mirrors or retroreflectors.
• RLD10s can have either a 0° or 90° beam
exit path.

4.Laser parameters

Power supply          24V @ 0.6A (1.6A during pre-heat)

Laser type                  He-Ne, 632.8nm (class 2)

Laser lifetime             > 50,000 hrs

Frequency stability      +/- 0.05ppm (1 hour)




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ACScontrol

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14楼
价格不是很清楚,使用起来挺方便的,就两部分
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波恩

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发表于：2010-12-22 08:34:44
15楼

很不错的东西！

小量程，高分辨率，高速度，看来非常适合在量程有限的音圈电机中使用。

 

不知1Vp-p的信号周期是多少nm？

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ACScontrol

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发表于：2010-12-22 11:01:17
16楼

"不知1Vp-p的信号周期是多少nm？ "

Analog output 1Vpp sin/cos, for interpolation down to nanometer levels ,具体没提.

        其实量程还可以,能满足很多直线电机的应用,我接触到的客户所用直线的电机的行程都在1m内.用音圈电机一般追求的是很小的行程,高速,高加速度,对精度的要求不是很高,用它似乎那啥了......呵呵......

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波恩

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发表于：2010-12-22 13:01:21
17楼
“用它似乎那啥了......呵呵......”———未必！有这样的传感器，在音圈应用中远比光栅方便，比电感式传感器精准！
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波恩

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发表于：2010-12-22 13:07:44
18楼

按型号查了一下，竟然是雷尼绍的东西，这下就别指望能便宜了！

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ACScontrol

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发表于：2010-12-22 13:29:39
19楼

我们做实验用的光栅尺,激光尺,激光干涉仪都是雷尼绍的,我们是它的代理,呵呵......

 

价格会贵的离谱吗?找时间我问问

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笨鳥慢飛

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发表于：2010-12-23 13:01:57
20楼

若你的控制器是全閉(V) 系統 當然可做補償用 將光學尺的訊號線取代驅動器到控制器的訊號線 另改變編碼器成光學尺參數

我们常说的螺补补偿的就是光栅尺吧,而且可以多次螺补.       雷尼紹的陳工都不敢這樣講 這叫位置誤差 其誤差來自絲桿的角偏

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