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超高精度超短时间定位的考验点击：3187 | 回复：47

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发表于：2008-11-18 21:53:52

楼主

现在接了个项目，控制一个平台在水平面X轴Y轴及垂直方向Z轴的运动，要求三个方向的精度都达到0.07um以内，定位时间在0.3秒以内，Z轴的定位时间越短越好，平台大概是长15cm,宽10cm,质量在1-2Kg左右，成本不用担心，请问高手们，这样的要求步进电机能做到吗？压电陶瓷能做到吗？该怎么考虑抖动的消除？

修改：

非常对不起，各位。

我说的70纳米只是听现场的人说的，我又仔细的看了下资料，发现范了很大的错误。

刘版主说的很对，70纳米不是定位精度也不是所谓的重复定位精度，分辨率还差不多。。。。确实70纳米太让人恐怖了。

实际的情况是X轴和Y轴的Resolution是0.3125μm，Reproducibility是±1.5μm。平台长大概15cm,宽大概10cm,行程是75mm,40mm,重小于3Kg.

翻译过来是分辨率是0.3125um,重复性是±1.5μm。

请问这两项指标，机械结构国内有厂家能保证吗？

谁有好的建议或能提供帮助可以联系sxjj04@yahoo.cn

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阿拉丁

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发表于：2008-11-26 10:37:42

41楼

用步进电机或直线电机比较容易达到

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0809jj

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发表于：2008-11-27 21:19:14

42楼

准备Z轴用压电陶瓷电机，XY轴用直线电机，不过这两种都没用过，谁有这两方面的资料啊？谢谢了。sxjj04@yahoo.cn

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hh200303

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发表于：2008-12-14 10:31:07

43楼

位移分辨率0.1um，直线电机推力>2200N的步进电机能否做到？

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火石

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发表于：2009-03-11 14:58:32

44楼

你好！你说的精度应该是可以做到的，只是国内做的人比较少！你用气浮导轨加直线电机来做。精度可以做到

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jpaekeo

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发表于：2018-03-12 16:33:17

45楼

回复内容：

对：0809jj 非常对不起，各位。我说的70纳米只是听现场的人说的，我又仔细的看了下资料，发现范了很大的错误。刘版主说的很对，70纳米不是定位精度也不是所谓的重复定位精度，分辨率还差不多。。。。确实70纳米太让人恐怖了。实际的情况是X轴和Y轴的Resolution是0.3125μm，Reproducibility是±1.5μm。平台大概长75mm,宽40mm,重小于3Kg. 翻译过来是分辨率是0.3125um,重复性是±1.5μm。请问这两项指标，机械结构国内有厂家能保证吗？内容的回复：

看来学好英语真的很重要

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gb710881965

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发表于：2018-04-27 16:31:48

46楼

谢谢楼主分享，学习学习

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工控科学

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发表于：2020-10-16 19:49:50

47楼

好好学习天天向上

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