求助：目前直线电机在设备上应用的状况-专业自动化论坛-中国工控网论坛

求助：目前直线电机在设备上应用的状况点击：3645 | 回复：50

laolu

精华：0帖
求助：0帖
帖子：3帖 | 6回
年度积分：0
历史总积分：65
注册：2004年10月07日

发表于：2004-11-05 10:45:00

楼主

我们做一台设备，要求精密定位，精度0.1um,不知直线电机能否达到这样的精度，现在直线电机再国内的应用状况究竟怎样呢？

分享到：

邀请回答

回复楼主

fanfare

精华：0帖
求助：0帖
帖子：8帖 | 149回
年度积分：0
历史总积分：259
注册：2004年5月18日

发表于：2004-11-05 10:55:00

1楼

这个精度超高，欧美的也许有这么高的，具体什么牌子我也不知道。

回复引用举报

laolu

精华：0帖
求助：0帖
帖子：3帖 | 6回
年度积分：0
历史总积分：65
注册：2004年10月07日

发表于：2004-11-05 12:42:00

2楼

中国有直线电机生产厂家吗？国外的品牌我就知道有保德（BALDOR）但好象也没有那么高的精度。

回复引用举报

patrik

精华：0帖
求助：0帖
帖子：4帖 | 49回
年度积分：0
历史总积分：125
注册：2003年8月15日

发表于：2004-11-05 13:51:00

3楼

你要求的0.1um是一个什么具体的指标？太笼统了。

回复引用举报

随云

精华：0帖
求助：0帖
帖子：0帖 | 1回
年度积分：0
历史总积分：51
注册：2004年11月05日

发表于：2004-11-05 14:10:00

4楼

追求高精度也是要有环境要求的，像楼主所提到了0.1个um需要的外界条件也是很高的，往往温度等的变化都会造成影响，不知你们那里能不能有这么好的环境做平台。

回复引用举报

laolu

精华：0帖
求助：0帖
帖子：3帖 | 6回
年度积分：0
历史总积分：65
注册：2004年10月07日

发表于：2004-11-05 20:38:00

5楼

谢谢大家的参与，我想要是有人高过这样高精度的平台就好了，我想直线电机配光栅尺理论上可以。但平台的不断抖动怎么解决呢？

回复引用举报

直线电机

精华：0帖
求助：0帖
帖子：6帖 | 6回
年度积分：0
历史总积分：28
注册：2004年10月31日

发表于：2004-11-05 22:03:00

6楼

你好，我是搞直线电机的，高校工作，不知道你是不是圈内朋友，可以探讨，可以发邮件： liuquan@mail.tsinghua.edu.cn

回复引用举报

Tiger Zhong

精华：0帖
求助：0帖
帖子：0帖 | 30回
年度积分：0
历史总积分：30
注册：2004年11月06日

发表于：2004-11-06 17:03:00

7楼

这种精度要求直线电机也是很难达到的。一般的重复精度在1um左右，定位精度依赖于所选用的光栅尺精度和要走的距离。如有进一步想法，可以发邮件：tzhong@parker.com

回复引用举报

沈阳老宋

精华：0帖
求助：0帖
帖子：4帖 | 778回
年度积分：0
历史总积分：823
注册：2004年9月30日

发表于：2004-11-06 18:09:00

8楼

精度应该没有问题，关键是光栅尺还有控制器的选用，您是那里的，怎么联系您？

回复引用举报

zch7749

精华：0帖
求助：0帖
帖子：27帖 | 729回
年度积分：0
历史总积分：0
注册：2004年1月10日

发表于：2004-11-06 21:15:00

9楼

这个进度确实很难解决，不会是军事上用的吧？还有这个精度怎么检测？激光干涉？不过我听说有单位想买日本0.1um的测具，人家日本说啥不卖，为什么？我想就是我们还达不到这精度吧

回复引用举报

Tiger Zhong

精华：0帖
求助：0帖
帖子：0帖 | 30回
年度积分：0
历史总积分：30
注册：2004年11月06日

发表于：2004-11-07 12:03:00

10楼

同意楼上的意见。检测本身就是个很大的问题，我不知道国内那里可以进行这种高精度检测的。如那位朋友知道，请不吝赐教。光栅尺可以做到0.1um，但整体精度达不到。

回复引用举报

laibing

精华：1帖
求助：0帖
帖子：49帖 | 182回
年度积分：0
历史总积分：0
注册：1900年1月01日

发表于：2004-11-08 09:04:00

11楼

要使整体精度达到0.1U，光栅尺和直线电机的分辨率至少应该为这个精度的1/3-1/10，否则难以达到要求

回复引用举报

ccbq

精华：0帖
求助：0帖
帖子：3帖 | 558回
年度积分：0
历史总积分：581
注册：2003年9月26日

发表于：2004-11-08 09:19:00

12楼

光栅尺可以达到这个精度，但直线电机很难，更重要的是安装精度、环境因素干扰以及负载刚度变形等对整体精度影响相当大，不得不考虑。

回复引用举报

刘岩利

精华：0帖
求助：0帖
帖子：0帖 | 269回
年度积分：30
历史总积分：841
注册：2002年9月03日

发表于：2004-11-08 11:21:00

13楼

精度0.1u，鉴于国内的实际情况，冒昧的问一下，是绝对精度还是重复精度？多大是行程？多大负载？要多大的速度？

回复引用举报

laolu

精华：0帖
求助：0帖
帖子：3帖 | 6回
年度积分：0
历史总积分：65
注册：2004年10月07日

发表于：2004-11-11 13:32:00

14楼

谢谢大家的参与讨论，我做的是半导体设备，我所说的精度是重复精度，行程为800*800，我想精度能否达到要看直线电机的性能，光栅应该是没问题的。

回复引用举报

阿拉丁

精华：0帖
求助：0帖
帖子：1帖 | 313回
年度积分：0
历史总积分：644
注册：2003年3月06日

发表于：2004-11-11 16:24:00

15楼

to 运动控制迷惑者我们曾做过达到重复精度0.7u的设备，根据我的经验用0.005u的光栅可以做到0.3u的精度，如果做到0.1u只能是以下了，估计有50%的机会，我做过一些半导体的设备，我们可以交流交流

回复引用举报

ccbq

精华：0帖
求助：0帖
帖子：3帖 | 558回
年度积分：0
历史总积分：581
注册：2003年9月26日

发表于：2004-11-11 17:12:00

16楼

对于这样的高精设备，只能采用巧妙的机械设计，利用补偿的方式大致所需精度。有些时候可能要不计成本。楼主的精度是否系统重复精度？

回复引用举报

沈阳老宋

精华：0帖
求助：0帖
帖子：4帖 | 778回
年度积分：0
历史总积分：823
注册：2004年9月30日

发表于：2004-11-11 17:51:00

17楼

如果动程很短，用纳米级直线电机加纳米级光栅尺加高精密滑台，分辨率肯定没问题，系统精度应该也没有太大问题，应该可以做。不过，您的动程比较大，可能只能用气浮导轨加直线伺服加纳米级光栅尺，还有，你的系统情况，包括环境等因素，可能您要搞一个地下室，用混凝土做好地基，再加上大理石底座平台，恒温恒湿。最好人在外面操作，不要有人进去，因为那个人如果咄咄脚，或者喘喘气，可能几个u就没有拉，代价惨重，是不是一定需要呀？哈哈。

回复引用举报

laolu

精华：0帖
求助：0帖
帖子：3帖 | 6回
年度积分：0
历史总积分：65
注册：2004年10月07日

发表于：2004-12-30 17:08:00

18楼

请问各位同仁：对于要求那么高的平台是否一点办法都没有了呢，我看了很多资料，却没有找到一个好的方案，看来只能放弃了0.1um.我想改用欧美的旋转伺服电机，如果能够达到0.3um也可将就。

回复引用举报

京城小工

精华：0帖
求助：0帖
帖子：6帖 | 39回
年度积分：0
历史总积分：163
注册：2004年11月01日

发表于：2004-12-31 11:44:00

19楼

你好，不知道具体情况如何。我司的横河的直接驱动电机伺服系统在半导体设备上用过，某些特殊精密设备也用过，直线电机和平台都有。具体情况交流下。我可以发些资料你看看。GJM@TJNY.NET.

回复引用举报

milesdhu

精华：0帖
求助：0帖
帖子：0帖 | 8回
年度积分：0
历史总积分：8
注册：2004年3月23日

发表于：2005-01-03 13:18:00

20楼

我正在进行这方面的研究，但是不知你的具体应用场合，重复定位精度和检测都能达到这个要求。Milesdhu@hotmail.com

回复引用举报

热门招聘

﻿求助：目前直线电机在设备上应用的状况 ﻿点击：3645 | 回复：50

求助：目前直线电机在设备上应用的状况点击：3645 | 回复：50