分子泵转速对氦质谱检漏仪的灵敏度有什么影响? 点击:208 | 回复:0



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发表于:2022-02-24 10:15:15
楼主

今天,小编将向大家介绍分子泵转速对氦质谱检漏仪的灵敏度有什么影响,希望对大家有所帮助。

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵是获得高真空和超高真空的关键设备之一。它被广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。它操作简单、启动时间短,在分子流区域内对各种气体的有效抽速几乎不变,对分子量高的气体压缩比高,可以获得清洁无油的高真空和超高真空环境。

 

分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部位,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。

 

逆扩散型检漏仪

 

逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。

 

1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压最高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。

 

用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。

 

当被检试件抽至1500Pa,V1开,氦气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室,实现仪器的逆扩散检漏。若能进一步将试件抽至200Pa以下,则V2关闭,V3打开,从泵的中间口逆扩散至质谱室,若能进一步将试件抽至40Pa以下,则V3关闭,V4打开,氨气从泵的上部逆扩散进入质谱室,或直接进入质谱室(常规检漏)。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程,一气呵成,不仅效率高,也便于漏率的定量,由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的,仪器只需1次校准即可。

 

 

改变氦质谱检漏仪的分子泵转速,检测信号值发生变化,仪器在运行时,分子泵转速改变后,只要改变漏率信号的修正系数,无需再次定标,即可保证检测漏率的准确性。若仪器检测信号时,信号值偏小,可以考虑降低仪器的分子泵转速,来提高检测信号值,提高仪器的检测灵敏度。

 好了,以上就是有关分子泵转速对氦质谱检漏仪的灵敏度有什么影响的介绍,有任何不懂的欢迎来到评论区交流~



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