氦质谱检漏仪如何解决真空泵真空度降低的问题?-深圳华尔升 点击:68 | 回复:0



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发表于:2022-02-10 10:38:58
楼主

今天小编就氦质谱检漏仪将如何解决真空泵真空度降低的问题,给大家进行解答。

真空泵是一种较为精密的机械设备,用户在使用过程中,真空泵抽真空难免出现抽气量不足或者真空度不高的现象,引起这些现象的原因是很多的。以下内容小编为您解说真空泵真空度降低的原因及解决办法。

 

真空泵真空度降低该怎么办

真空泵真空度降低的故障原因:管道密封不严,有漏气的地方;密封填料磨损;叶轮与端盖的间隙过大;水环温度过高(一般不应超过40℃)。

 

真空泵真空度降低的排除方法:拧紧法兰螺钉或更换衬套;更换填料;调整间隙(一般应为0.15~0.2mm);增加水量并降低进水温度。

 

氦质谱检漏仪如何助力真空泵的真空度?

真空系统、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊缝、机械连接处存在孔洞、裂纹或间隙等缺陷,外部大气通过这些缺陷进入系统内部,致使系统、容器或器件达不到预期的真空度,这种现象称为漏气。造成漏气的缺陷称为漏孔。漏孔尺寸微小、形状复杂,无法用几何尺寸表示,因此在真空技术中用漏率来表示漏孔的大小。漏率是指单位时间内漏入系统的气体量,其单位为帕·米3/秒(Pa·m3/sec)或托·升/秒(Torr·L/sec)。

 

1Pa·m3/sec=7.5(Torr·L/sec)

 

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术,相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置,以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

 

漏率的大小需进行校准后方能确定。一般采用比较法,即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较,就可得出被检漏孔的漏率。 检测真空系统或其零部件的漏孔的方法。对一定的容器进行足够长时间的抽气后,容器压力不再变化,这时的抽气量必定与容器的漏气量和放气量之和相等,即puSe=qL+q0,式中pu为容器的极限压力,Se为容器排气口处的有效抽气速率,qL和q0分别为容器的漏气量和放气量。如放气量少到可以不计,则平衡式变为puSe=qL,或pu=qL/Se。这说明容器的极限压力由漏气量与有效抽气速率的比值决定。如抽气速率一定(常数),要得到低的极限压力便应降低漏气量,检漏便是关键的措施。

 

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。漏孔一般很微小,实际上不能测出漏孔的具体大小,所以漏孔大小都用漏率(在规定的条件下气体流过漏孔的流量)来表示。漏孔两侧存在着压力差,即可利用气体流动引起的效应来检漏。为便于检漏和易于检测出漏孔的位置,一般尽可能缩小检测的面积范围,所以先侧重于对零部件的检漏。零部件经过严格的检漏,组装后就可避免漏气。

 

大型复杂系统的氦质谱检漏历来是劳动强度大、专业素质要求高、耗时长而繁琐的任务,某些应用领域对检漏结果的准确性要求也很高。由于大型真空系统的响应时间长,所需持续施氦并监测的时间往往很长。为了实现漏孔的快速准确检测,需采用一种既不影响检漏灵敏度,又能缩短检漏时间、提高检漏效率的方法。

 

好了,以上就是有关于氦质谱检漏仪将如何解决真空泵真空度降低的问题解答,相信大家对于氦质谱检漏仪也有了更深的了解。


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