真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。不管是什么机器设备，在使用过程中都会出现故障的情况，今天永诚真空就跟大家谈谈真空镀膜机常见的故障及原因分析

真空镀膜机常见故障分析

一、在镀膜过程中，真空度会突然下降。

1.蒸发源水道中的胶罔环(替换胶罔)

2.打穿坩埚(替换坩埚)

3.高压电极密封处(更换胶圈)被击穿

4.机械转动的密封处胶圈损坏(更换)

5.前阀突然关闭可损坏二位五通阀(替换二位五通阀)

6.高流量阀门突然关闭可能是位五通阀门损坏(更换二位五通阀门)

7.机械泵的关闭可能是继电器的断开(检查继电器是否正常工作)

8.烧结引入线电极密封处(替换胶盖)被击穿

9.挡板动封处的胶固损坏(更换胶园)

10.玻璃观察镜有裂痕和裂痕(玻璃更换)

二、长时间工作时，镀膜机抽真空时间很长，不能达到工作真空，恢复真空，极限真空，保真空：

1.蒸发室粉尘较多(洗洗机)

2.扩散泵长期未换油(应清冼换油)

3.前级泵反压强过大机泵真空度过低(应清冼换油)

4.活动式密封圈损坏(更换胶园)

5.由于蒸发室的长期高温，各密封胶园会老化(更换胶因)

6.蒸发室各引水口密封件是否有胶罔损坏(更换胶圈)

7.各引入座螺丝螺母(再压)是否有松动

8.高低预阀门(注油)密封可靠与否。