激发火花光谱分析仪光源是采用上下两个电极的方法，通上电流，电极之间就形成一个火花式光谱仪光源。在这火花式光谱仪光源中，电极之间空气或其他气体一般处于大气压力。

　　因此放电是在充有气体的电极之间发生，是依靠电极间流过的电流使气体发光，是建立在气体放电的基础上。

　　火花光谱分析仪光源的作用是将待测元素变成气体状态，而后激发成光谱，根据该元素谱线强度转换成光电流，由计算机控制的测光系统按谱线的强度换算成元素的含量。

　　火花光谱分析仪光源作用的这种动态过程，就是将样品由固态变成气态，其中一部份元素激发而发射光谱，而这些气态的样品又不断地向四周扩散，分析间隙的气态样品也在不断更新，以求达到一个动态平衡，当火花光谱仪光源激发一定时间后，蒸气云中待测元素浓度增大，只有蒸气云中浓度足够大，才能得到大的光电信号。

　　低压火花以及控波型火花光谱分析仪光源是在电容电场作用下，采用控制气氛中放电;辉光火花光谱分析仪光源是在直流电场作用下，稀薄控制气氛中放电;等离子体火花式光谱仪光源是在射频电磁场作用下控制气氛中放电(电极之间的电压以及电流的关系不遵守欧姆定律的)。