由北京吉兆源科技研制成功的 国产射频自动匹配器，可直接替代国外产品。因为手动匹配器是要不断地手动调整匹配器的阻抗而使输出达到工艺的要求，而自动匹配器则可以弥补这一缺陷，自动匹配器与电源完全独立，可配置国产、进口任何品牌的射频电源。节约射频系统成本。
描述：
功率：1000W,2000W ,5000W 三种
频率：13.56M系统采用高速的匹配算法，使系统在接近匹配点时减速，即使是高Q值的系统也能达到精确的匹配效果。可替代进口匹配器。与国产电源配合使用，匹配良好。匹配器标准配置采用可调的L型匹配网络，满足绝大部分负载要求，也可根据客户负载阻抗设计配制匹配网络，实现自动匹配。

主要功能：

可以单独工作, 配任何品牌射频电源

可配合本公司电源, 实现位置指示,手动自动控制.

可以预设电容位置作为起始点，使在等离子体点火前，系统处于最有利于点火的位置，点火后自动调节位置达到匹配状态。

范围和匹配中心点可调，有利于更加精确、快速达到匹配状态

可通过数字接口与计算机通信（采集入射功率、反射功率、偏压等参数），并且可以计算机调控电容位置、设置匹配器内部参数等

结构紧凑,体积小.

   1000W   2000W   5000W  

电源输入   AC180~240   AC180~240   AC180~240  

输入电流   0.5A   0.5A   0.5A  

射频功率范围   0~1000W   0~2000W   0~5000W  

射频工作频率   13.56MHz   13.56MHz   13.56MHz  

射频输入接头   N/UHF铜带型   N/UHF铜带型   N/UHF铜带型  

用户接口   DB15接口通讯协议：   DB15接口通讯协议：   DB15接口通讯协议：  

   RS232、485   RS232、485   RS232、485  

冷却方式   强制风冷   强制风冷   水冷  

机箱尺寸   385×260×132.5   385×260×132.5   385×320×175  

重量   7.5Kg   9Kg   15Kg