重复定位精度与带宽关系 点击:1068 | 回复:13



biteng

    
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发表于:2007-04-04 14:02:00
楼主
重复定位精度50nm,要求机械系统的带宽是多少啊?还想问一下机械系统固有频率与系统带宽有什么关系么?现在测得系统第一阶固有频率603.2HZ,第二阶固有频率1294.2HZ,第三阶固有频率47568.1HZ,那么系统的带宽是多少啊?能满足50nm的重复定位精度么?



kds

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发表于:2007-04-04 16:12:00
1楼
尝试分析一下这个问题,希望大家都能参与:
50nm的重复定位精度意味着系统至少应对50nm的位置指令应当有反映。进由此信息,好像还不足以与系统带宽建立联系。

biteng

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发表于:2007-04-04 16:53:00
2楼
运动分辨力是10nm,运动范围20mm*20mm,最大运动速度1m/s,运动加速度5g-10g,稳定时间40ms,这是提出的所有指标了

biteng

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发表于:2007-04-04 16:56:00
3楼
机械系统带宽是怎么得到的?测量可以得到么?

波恩

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发表于:2007-04-04 19:38:00
4楼
这等分辨率和速度/加速度,真牛!是做IC装备的吧?

应该说系统带宽关系与重复定位精度没有直接关联。机械系统无所谓带宽,关键是要避免在机械系统固有频率点工作,以免除系统共振,或者是系统带宽落于机械系统固有频率点以下,或者在系统中采用带阻陷波器。

老柴夫

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发表于:2007-04-04 23:55:00
5楼
机械系统固有频率与系统带宽……好象没有什么关系。
系统带宽好象是在通讯中讲的吧?
机械系统固有频率主要是与电机(或是某种原动机)的工作时的转速、加速度等的关联比较大。好象是不要让机械系统长时间的在固有频率上工作吧。

波恩

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发表于:2007-04-05 11:33:00
6楼
“系统带宽好象是在通讯中讲的吧?”此言差矣!“系统带宽”并非“通讯”专有名词,楼主所提系统带宽,应该是指控制系统的带宽。

踏沙行

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发表于:2007-05-08 13:17:00
7楼
现在进行的如何了?
学习学习

biteng

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发表于:2007-05-08 15:49:00
8楼
是指控制系统的带宽,系统在稳定时振动很大,会是什么地方产生的主要原因呢?是电机、导轨还是其他什么因素?

波恩

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发表于:2007-05-08 16:37:00
9楼
“振动很大”还能声称“系统在稳定时”?

振动频率和幅度如何?首先估计与增益有关,降低增益试试。

如果振幅较大,则可能是机械系统刚度有问题。不是你前面说的50nm的系统吧?!

小虫~~

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发表于:2007-05-08 17:06:00
10楼
是细胞啊?这么高的定位精度~
机械的怎么可能达到

biteng

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发表于:2007-05-08 19:26:00
11楼
呵呵,版主真厉害啊。我说的振动是指系统稳定在一定范围(2um)后有波动,我如何从控制方法上减少这种残余振动?

舒文锋

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发表于:2007-05-08 22:17:00
12楼
50nm?机械部分的要求相当高吧,国内能做到吗?
feinmess的是否能达到?京瓷的呢?

波恩

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发表于:2007-05-09 12:41:00
13楼
“系统稳定在一定范围(2um)后有波动”——波动有多大?um量级,还是50nm相关的量级?

鉴于你的系统分辨率超高,所以外界振动完全有可能干扰系统的正常运行,不知系统是否采取了必要的防震隔震措施。

总之未必一定是控制的问题,除非结合你在另一帖子中问到的PWM电流波动确实会影响到系统稳定性。

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