重复定位精度与带宽关系-专业自动化论坛-中国工控网论坛

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发表于：2007-04-04 14:02:00

楼主

重复定位精度50nm，要求机械系统的带宽是多少啊？还想问一下机械系统固有频率与系统带宽有什么关系么？现在测得系统第一阶固有频率603.2HZ，第二阶固有频率1294.2HZ，第三阶固有频率47568.1HZ，那么系统的带宽是多少啊？能满足50nm的重复定位精度么？

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kds

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发表于：2007-04-04 16:12:00

1楼

尝试分析一下这个问题，希望大家都能参与：
50nm的重复定位精度意味着系统至少应对50nm的位置指令应当有反映。进由此信息，好像还不足以与系统带宽建立联系。

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biteng

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发表于：2007-04-04 16:53:00

2楼

运动分辨力是10nm，运动范围20mm*20mm，最大运动速度1m/s，运动加速度5g-10g，稳定时间40ms，这是提出的所有指标了

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biteng

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发表于：2007-04-04 16:56:00

3楼

机械系统带宽是怎么得到的？测量可以得到么？

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波恩

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发表于：2007-04-04 19:38:00

4楼

这等分辨率和速度/加速度，真牛！是做IC装备的吧？

应该说系统带宽关系与重复定位精度没有直接关联。机械系统无所谓带宽，关键是要避免在机械系统固有频率点工作，以免除系统共振，或者是系统带宽落于机械系统固有频率点以下，或者在系统中采用带阻陷波器。

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老柴夫

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发表于：2007-04-04 23:55:00

5楼

机械系统固有频率与系统带宽……好象没有什么关系。
系统带宽好象是在通讯中讲的吧？
机械系统固有频率主要是与电机（或是某种原动机）的工作时的转速、加速度等的关联比较大。好象是不要让机械系统长时间的在固有频率上工作吧。

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波恩

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发表于：2007-04-05 11:33:00

6楼

“系统带宽好象是在通讯中讲的吧？”此言差矣！“系统带宽”并非“通讯”专有名词，楼主所提系统带宽，应该是指控制系统的带宽。

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踏沙行

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发表于：2007-05-08 13:17:00

7楼

现在进行的如何了？
学习学习

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biteng

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发表于：2007-05-08 15:49:00

8楼

是指控制系统的带宽，系统在稳定时振动很大，会是什么地方产生的主要原因呢？是电机、导轨还是其他什么因素？

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波恩

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发表于：2007-05-08 16:37:00

9楼

“振动很大”还能声称“系统在稳定时”？

振动频率和幅度如何？首先估计与增益有关，降低增益试试。

如果振幅较大，则可能是机械系统刚度有问题。不是你前面说的50nm的系统吧？！

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小虫～～

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发表于：2007-05-08 17:06:00

10楼

是细胞啊？这么高的定位精度～
机械的怎么可能达到

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biteng

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发表于：2007-05-08 19:26:00

11楼

呵呵，版主真厉害啊。我说的振动是指系统稳定在一定范围（2um）后有波动，我如何从控制方法上减少这种残余振动？

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舒文锋

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发表于：2007-05-08 22:17:00

12楼

50nm?机械部分的要求相当高吧,国内能做到吗?
feinmess的是否能达到?京瓷的呢?

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波恩

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发表于：2007-05-09 12:41:00

13楼

“系统稳定在一定范围（2um）后有波动”——波动有多大？um量级，还是50nm相关的量级？

鉴于你的系统分辨率超高，所以外界振动完全有可能干扰系统的正常运行，不知系统是否采取了必要的防震隔震措施。

总之未必一定是控制的问题，除非结合你在另一帖子中问到的PWM电流波动确实会影响到系统稳定性。

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