氦质谱检漏仪是利用氦气作为示漏气体，用气体分析仪对氦气进行检漏的质谱仪。那么今天小编会给大家介绍氦质谱检漏仪在真空度校验中有什么应用，详情请看下文：

氦是一种惰性气体，不会对设备产生腐蚀，不与真空器件起化学反应，无毒，也不会污染环境，因此使用起来也十分安全。对容器环境和质谱环境干扰较小，常作为泄漏气体使用。

在接有检漏仪(即调整到只对氦气反应的工作状态的气体剖析仪)的被检容器上喷射该气体，如果容器有漏孔，分析仪就会发出响声，从而知道漏孔的位置和漏气量。氦质谱检测泄漏技术是真空检测领域中不可缺少的一项技术，由于其检测效率高、简便易行、仪器反应灵敏、准确度高、不受其它气体干扰等特点，在电阻炉检测泄漏中被广泛应用。

将氦气注入到一定的压力下，然后用正压式探伤装置探伤所有接头。发现有漏点的记录将与起泡器序列号一一对应，如果出现超出用户设置的大允许结果漏点，将立即予以回放。接着，10台一排排的起泡装置上安装了无油前级泵和涡轮分子泵。通过软件的完全控制，外部管道抽真空和保持工作状态，然后操作员使用外部喷雾观察所有接头，质谱系统就可以监控任何氦泄漏。经漏水测试后，将汽化器抽真空，烘烤。

试验后，质谱仪系统将对气泡体及连接管内气体进行主动分析。为确保实验结果的准确性，所有鼓泡器中水、氧和溶剂的浓度都必须小于1ppm。测试后，应提醒操作者测试结果是否合格，并记录所有的测试数据，以便追踪。