今天我们来介绍一下氦检漏仪用于镀膜设备的检漏：

一、镀膜设备检漏原因

太阳能单晶和多晶电池片在生产过程中应用了PECVD沉积 Si3N3减反层, 4-5天设备需要保养一次(清洁MASK, 更换支架等等), 由于是清洁设备内部, 所以存在内部腔体密封性失效的可能. 如果镀膜设备密封性不好, 镀出来的产品膜厚会不均匀, 产品四周膜参数会不合格.

如果镀膜设备保养完成后, 能做一次检漏, 就可以避免很多不合格产品的产生, 达到节约生产成本的目的。

二、镀膜设备氦检漏仪

1.将氦检漏仪启动完成，再将检漏仪内部的检漏方式，设置为“停止不放气”。

2.按‘停止’键，使检漏仪处在“待机”状态。

3.将检漏仪检漏口和真空炉或镀膜机通过波纹管连接，可在波纹管一端加高真空手动挡板阀。

4.开启真空炉或镀膜机的本身抽空系统，再打开连接检漏仪的高真空手动挡板阀。待真空炉或镀膜机内的真空度抽到200Pa以下，真空度相对稳定后。

5.按下检漏仪的‘开始’键，让检漏仪进入检漏状态。

6.待检漏仪显示的漏率值相对稳定后，就可以对真空炉或镀膜机的可疑漏点进行喷氦检漏。

7.检漏结束后，先关闭高真空手动挡板阀，再按下检漏仪的‘停止’键，让检漏仪处在“待机”状态。

8.最后关闭真空炉或镀膜机的抽空系统。

9.拆除检漏仪与真空炉或镀膜机连接的波纹管。关闭检漏仪电源。

三：可能出现的问题：

1.检漏仪没有设置“停止不放气”,在检漏仪“停止”的时候，会对真空炉或镀膜机的真空系统有大气的冲击，容易损坏真空器件。

2.真空炉或镀膜机内部的复杂结构，会导致检漏仪的本底值比较高，会导致微小漏孔不易检测。

3.真空炉或镀膜机如存在润滑油或冷凝水等对气体有吸附的物质，会导致喷入的氦气被吸附，检漏仪检测不到氦气。

好了，以上就是有关氦检漏仪用于镀膜设备的检漏，希望对大家有所帮助哦~