目的：

1.为了实现快速判断，设备的漏孔位置

2.根据不同的漏率值，快速的判断漏孔的大小

易泄露位置：

法兰连接处，经常开启或拆卸的位置

一：目测、查找

1.在法兰管路连接处，查看是否有装配不良的现象。

2.在经常开关或拆卸的位置，查看是否有异常

二：氦质谱检漏

1.将氦质检漏仪启动完成，再将检漏仪内部的检漏方式，设置为“停止不放气”。

2.按‘停止’键，使检漏仪处在“待机”状态。

3.将检漏仪检漏口和真空炉或镀膜机通过波纹管连接，可在波纹管- -端加高真空手动挡板阀。

4.开启真空炉或镀膜机的本身抽空系统，再打开连接检漏仪的高真空手动挡板阀。待真空炉或镀膜机内的真空度抽到200Pa以下，真空度相对稳定后。

5.按下检漏仪的‘开始’键，让检漏仪进入检漏状态。

6.待检漏仪显示的漏率值相对稳定后，就可以对真空炉或镀膜机的可疑漏点进行喷氨检漏。

7.检漏结束后，先关闭高真空手动挡板阀，再按下检漏仪的‘停止’键，让检漏仪处在“待机”状态。

8.最后关闭真空炉或镀膜机的抽空系统。

9.拆除检漏仪与真空炉或镀膜机连接的波纹管。关闭检漏仪电源。

三：可能出现的问题

1.检漏仪没有设置‘停止不放气’，在检漏仪‘停止’的时候，会对真空炉或镀膜机的真空系统有大气的冲击，容易损坏真空器件。

2.真空炉或镀膜机内部的复杂结构，会导致检漏仪的本底值比较高，会导致微小漏孔不

易检测。

3.真空炉或镀膜机如存在润滑油或冷凝水等对气体有吸附的物质，会导致喷入的氦气被吸附，检漏仪检测不到氦气。

深圳华尔升智控技术有限公司是一家具有自主知识产权和持续创新能力，经营业绩稳定增长的高科技公司。公司拥有经验丰富的研究应用技术团队，稳健高效的运营团队和专业的销售队伍，主要成员均有着十多年的氦质谱检漏行业从业经验，有丰富的经验和技术实力。