当前位置：工控论坛 > 产品 > 仪器仪表 > 分析仪表

真空系统常用名称 点击：58 | 回复：0



华尔升智控

    
  • 精华：0帖
  • 求助：0帖
  • 帖子：118帖 | 3回
  • 年度积分：0
  • 历史总积分：49
  • 注册：2021年8月03日
发表于：2021-11-19 10:02:05
楼主

(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

华尔升智控：真空系统常用名称


(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。

分享到：
收藏 邀请回答 回复楼主 举报


楼主最近还看过


热门招聘
相关主题

官方公众号
智造工程师