高准流量计的蒸汽流量测量从测量技术上可分为两类，一类为过热蒸汽和高干度(干度x=0.9以上)的饱和蒸汽，另一类为低干度饱和蒸汽。前一类可以作为单相流体处理，而后一类则为两相流。由于目前所有的流量计只适用于单相流体，因此，低干度饱和蒸汽尚需进行深入的研究。过热蒸汽和高千度饱和蒸汽的流量测量常用的流量计有:节流式差压式流量计，该流量计目前仍是测量蒸汽流量的主要仪表，为适应需要在技术上也有了心得发展。比如把节流装置、差压变送器及三阀组组成一体成为一体式节流流量计，该节流流量计解决了差压信号管路易出故障的缺点。还有采用定制节流件，用标准喷嘴代替标准孔板，因为喷嘴和孔板相比较，喷嘴的流出系数稳定，不会因为边缘锐角变钝使流出系数发生变化，压损也比孔板低，一般在同样流量及值时压损约为孔板的30% 50%。涡街流量计测量中温，即200C以下，应用于蒸汽应该说已经趋于成熟，是目前常用于蒸汽测量的一类流量计。但是一定要注意低干度介质将使其仪表系数偏离检测值而增大测量误差。均速管流量计、分流旋翼式流量计在准确度要求不高的内部管理分配上应用，适应于中小流量蒸汽的测量。

  高准流量计的靶式流量计是电动、气动单元组合仪表的检测仪表。由测量管、靶板、力传感器、信号处理单元组成。力传感器为应变计式传感器，信号处理显示可以就地直读显示或输出标准信号。力传感器由筒式弹性体和力应变片组成，可以是内贴式和外贴式两种。当弹性体在力作用下发生形变，它破坏了由力应变片组成的电桥的平衡，产生与流量成平方关系的电信号。其工作原理是在恒定截面直管段中设置一个与流束方向相垂直的靶板，流体沿靶板周围通过时，靶板受到推力的作用，推力的大小与流体的动能和靶板的面积成正比。在-定的雷诺数范围内，流过流量计的流量与靶板受到的力成正比。靶板所受的力由力传感器检出。