日立FT-110A四大特点:
一、测量。
1、通过自动定位功能提高操作性测量样品时,以往需花费约10秒的样品对焦,现在3秒内即可完成,大大提高样品定位的操作性。
2、微区膜厚测量精度提高通过缩小与样品间的距离等,致使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。
3、多达5层的多镀层测量使用薄膜FP法软件,即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。
4、广域观察系统( 选配)可从最大250 x 200mm的样品整体图像指定测量位置。
5、对应大型印刷线路板(选配)可对600x600mm的大型印刷线路板进行测量。
6、低价位与以往机型相比,既提高了功能性又降低20%以上的价格。
二、为了适应日益提高的镀层厚度测量要求,开发了配备自动定位功能的第八代X射线荧光镀层厚度测量仪FT110。
1、通过自主定位功能,仅需把样品放置在样品台上,就可在数秒内对样品进行自动对焦。因此,无需进行以往的手动主次对焦的操作,大大提高了样品测量的操作性。
2、自动聚焦和激光聚焦模式:配置激光聚焦和自动对焦系统,可以快速对焦,改变焦距设定,方便凹形样品的测试。
3、双重准直器配置:可以常规使用, 也可以针对小型样品、矩形样品进行不同准直器选择测量。
4、双重摄像头功能:在常规摄像头的基础上可以选配广域摄像头,可以针对样品进行整体拍照,然后再局部放大进行测量。
三、优势。
1、全面、方便快捷。
2、硬件功能人性化。
2.1 X射线从上向下式照射,相比从下向上式,更方便样品的摆放。
2.2 开机自检,自动校正,无需定期人工校正。
2.3 多种光束尺寸选择,适合不同大小的样品。
2.4 过硬的硬件质量。
2.5 精确定位功能、各种自动保护功能。
2.6 激光自动聚焦功能、精准的三维样品台功能。
四、软件功能。
1、Word/Excel完善的报告格式。
2、测量速度快速而精确。
3、可提供多种镀层种类标准片,可实现多种镀层厚度测量功能。
4、具备镀层中元素分析的功能。