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最近在调试一台三坐标,X轴(纵向)Y轴(横向)机械传动机构为齿轮齿条和直线导轨形式,Z轴为滚珠丝杠和直线导轨形式,目前在调试过程中X轴与Y轴在运行过程中设备出现明显抖动情况,机械方面X.Y的垂直度用百分表测量在20丝左右,感觉机械方面应该问题也不大,所以请教各位大神对于伺服电机运行时负载出现抖动的情况应该怎么解决,使用安川自整定功能是否可以解决?X轴电机为安川五系1.8KW配5比1的减速机,Y轴为1.3KW配3比1的减速机。