可能因空气轴承刚度下降导致系统带宽下降--机械谐振,不知道控制器或驱动器是否有Bode图工具,若有可测一下系统频率特性,以便设计滤波器;
因谐振引起的啸叫,可以用降低系统增益而缓解来验证,但会牺牲快速性和调整精度,通常加滤波器来校正:简单的一阶低通、二阶的Notch、anti-resornance filter等,一般控制器都会提供这些滤波器;
空气轴承的问题,需要用激光干涉仪等测一下沿各轴的跳动:Pitch,Roll,Raw,Flatness,Straightness等,与厂家提供的数据对比一下,精密平台应该随机提供这些数据;
精密平台特别怕硬碰、冲击、振动等,一旦导轨轴承变形,只能返厂维修。