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求助:感测器 点击：86 | 回复：1



zizhaoxue

    
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发表于：2008-12-28 16:57:37
楼主

大家好!我的应用环境是在腔室里面传送一个不锈钢材质的工件框(工件框上装的是玻璃),需要一个传感器(或者行程开关等)之类的东西

告诉控制系统,该工件框已经到达指定地点(这样就停止传送工件框).

说明一下腔体环境:真空环境,1*10-4Pa;高温环境,300度左右;腔体是用来做PECVD的,这样就会有一些SiH4,B2H6等沉积物来污染感应器

目前的选项:1).可以耐高温的真空光纤,它的缺点就是不可避免的会不沉积物污染(还没有试,理论上是这样)

                     2).行程开关,污染和真空都没有问题,可是我没有找到可以耐高温的.而且个头不要太大,安装条件受限.

请各位帮忙看看,有没有一个很好的解决方法.

谢谢!

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蓝海华腾

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发表于：2008-12-28 21:33:32
1楼

可能要等这个行业的专家处理了。

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