“对于常规 50线/mm 刻线的光栅来说,输出电信号的分辨率常见的有5um、1um、0.5um、0.1um、0.05um,还有更高分辨率的规格。”
1、100线/1mm的光栅,如果用计数器计得50个"莫尔条纹",就表示位移是0.50mm;
2、如果100线/1mm的光栅,如果用计数器计得1个"莫尔条纹",就表示位移是0.01mm;
3、如果100线/1mm的光栅,如果用计数器计得0.1个"莫尔条纹",就表示位移是0.001mm,这时的分辨率是1μm;
4、如果100线/1mm的光栅,如果用计数器计得0.01个"莫尔条纹",就表示位移是0.0001mm,这时的分辨率是0.1μm;
5、所以,100线/1mm的光栅,如果把"莫尔条纹"的长度再10等分、100等分时,就可获得分辨率为1μm、0.1μm;