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磁控溅射镀膜生产线 点击:3238 | 回复:27



gongkongedit

    
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发表于:2007-01-25 10:45:00
楼主
磁控溅射镀膜生产线 项目简介 真空镀膜方法是近代表面处理与改质技术的主流。已被大量应用在光电、半导体、光磁储存媒体、被动组件、平面显示器、微机电、光学组件、金属切削刀具及各类机械耐磨、润滑及包装、生物医学材料上。“易控(INSPEC)”最近在国内一专业真空镀膜设备及玻璃机械设备制造公司成功应用。该公司水平磁控镀膜生产线采用溅射的方法在玻璃上成膜, 广泛用于镀制各种建筑玻璃、电子工业IT0透明导电玻璃、冰箱玻璃和高反射镜等。该线吸收欧洲生产线的先进技术和工艺,并配有三菱FX2N-PLC和触摸屏、工控机,整个过程完全实现自动化控制,使镀膜生产具有很好的工艺重复性,更适合工业化大批量生产的需要。该生产线技术先进,融合了独特的操作人性化、使用简便化设计理念,在用户群体中得到了充分的肯定。 系统设计 系统设计的特点 1、生产线采用PLC全过程控制,并配有彩色显示屏,显示镀膜工艺过程参数等; 2、实时动画形式显示监控磁控镀膜生产线的工艺流程。磁控镀膜生产线的设备是密封的,生产时看不见玻璃在真空室里面的运行情况,通过“易控(INSPEC)”通用组态式监控系统形象的动画功能来实时反应玻璃在密封真空室里的运行情况,让现场操作工对整个生产流程了若指掌。 3、系统功能丰富:包括手/自动模式选择、工艺方案选择、数据检测记录、故障报警记录、自动诊断保护、操作权限限定等等。 上位监控系统采用的是“易控(INSPEC)”通用组态式监控系统,其与下位控制系统的三菱FX2N PLC通信方式采用RS-232串行通讯方式。LG变频器及真空泵、抽气阀等都是由三菱FX2N-PLC来控制,而PLC通过一个扩展的232BD模块与计算机相连。 软件系统完成的主要功能 1、以实时动画形式监控磁控镀膜生产线的工艺流程,监控电机、真空泵、抽气阀等部件的运行状态;
2、记录设备运行过程中产生的实时报警信息; 3、PLC输入、输出点实时监控。
总结 该系统现场运行情况良好,数据读写速率快,报警功能、设备动作控制等各项功能均达到设计要求,且快速、准确无误,主画面上的动画过程与现场的生产流程配合较好,使用该系统可以非常方便的监控整条生产线的运行。“操作简单,画面精美,软件与设备的通讯性能优越,大大提升系统形象”是用户对“易控(INSPEC)”通用组态式监控系统软件突出性能给予的评价。



鼓鼓鼓鼓

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发表于:2007-10-11 13:49:00
21楼
看一下 学习学习

lly

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发表于:2007-10-11 14:23:00
22楼
下面引用由展翅飞翔在 2007-9-15 8:55:00 发表的内容:
  其实整个过程最难的是AE电源的&nbsp;工艺实现,<br>下来就是OEM的调试<br>其他的PLC,真空系统都是小菜.<br><…
--------------------------------------------------------------------------------------------
你调过的是小规模的啦.
可以生产玻璃的尺寸呢?长宽高?
过程最难的是传动/清洗/装卸. AE太简单了,无非就是通讯接口问题.
我最近搞过的快要投产了.
分子泵10^-6级 144台
长(MAX):9米
宽(MAX):2.54米
厚:3~19mm

展翅飞翔

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发表于:2007-10-26 00:25:00
23楼
当然是小规模的了,呵呵

不是生产玻璃。

镀 模具要多大的?
镀 东风发动机 模具要多大的?
镀 华硕主板 微钻要多大的?
给 GM的部分部件做实验 镀隔膜要多大?

分子泵 一般只能到 -6 KPa级,
到不了 -6 Pa级。

我用的扩散泵 也是很累的才到-6Pa级。
一般要求才是-4Pa 级,只有一个军工的才要求-6Pa。

呵呵,大家都在喊 -6级,单位是多少?

4级或者5级串联,上低温泵, 可以稳定保证 -6Pa.

再低也较麻烦.


不同的行业有不同的要求,
有可能这里的难点 在某个行业确实很 容易的.
而在某个行业的 难点在另外一个 压根没用到,所以提不到难点,呵呵

我做的不是镀玻璃,所以体积较小.
而且清洗线也简单,并且没有传动.装卸.

跟玻璃线压根是 2个概念.

lly

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发表于:2007-10-26 15:40:00
24楼
分子泵是可以到-6Pa的, 是有点困难, 目前已经抽了半个月, 还是到-5Pa, 低温泵未投入使用, 继续在检漏, 主要腔体太大, 长95米, 宽3.0米, 高度也有300mm左右吧.
-6kpa,罗茨泵都接近可以了,印象中-2Pa是分子泵的启动条件之一.
玻璃镀膜其实对控制来说,抽气相对简单, 检漏是搞机械的事情, 控制这边只作好保护和顺控程序即可. 难点在传动.
不好意思, 我以为你说的玻璃镀膜线.

dovezy

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发表于:2007-12-25 14:36:00
25楼
最近我们成功改造了一条进口磁控溅射镀膜生产线(PLC和上位组态),他的产量直线上升.
有什么问题可以咨询我

dovezy

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发表于:2007-12-25 14:39:00
26楼
 知易行难
你们做的不怎么难呀

zhenglin

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发表于:2011-05-07 14:32:25
27楼

真的不错,太好了http://www.99gk.com/


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