今天，小编给大家带来的内容是有关氦质谱检漏仪背压法检漏过程说明以及注意事项，希望可以帮助到对氦质谱检漏仪感兴趣的朋友们：

氦质谱检漏仪背压法检漏过程说明

一、压 氦

1.将工件放入压氦罐内，确认罐内清洁干净。

2.待工件放置好后，将压氦罐的盖放置到压氦罐上，用螺钉固定牢靠。

3.再将压氦罐球阀接口与氦气瓶连接。

4.确认连接OK后，先将压氦罐的球阀打开，再开启氦气瓶的减压阀，控制检验阀的出气压力，待压氦罐上的压力表指示到规定的压力后，关闭压氦罐的球阀，再关闭氦气瓶的阀和减压阀。

5.断开气瓶与压氦罐的管路，（注意：管路内还有压力）将压氦罐放置到安全区域保压规定时间。

6.保压时间到后，将压氦罐内地氦气放至外界大气中或使用氦气袋回收。

二、清 氦

7.将固定压氦罐盖的螺钉拆卸下来，再将罐盖打开。

8.取出工件，使用空气或氮气将工件表面残留的氦气清除。

9.放置好工件待用。

三、检 漏

10.将检漏罐装配到检漏仪的检漏口，使用检漏仪抽空，本底值最小。

11.“停止”检漏仪，打开检漏罐，将工件分批的放置到检漏罐内。再“开始”检漏仪。

12.检漏仪按下“开始”后开始计时和观察检漏仪漏率值。

13.分别记录检漏仪开始后第10秒、第20秒、第30秒、第60秒的漏率值。

14.记录结束后“停止”检漏仪，取出工件。

15.再次重复第11-14项，检测其它工件。

氦质谱检漏仪背压法检漏的注意事项

检漏过程会有以下现象：

1.氦质谱检漏仪只能检测微漏的工件；大漏的工件，在清氦过程，压入内部的氦气就可能泄露出来，在氦检时就检测不到氦气漏出。

2.工件清氦后，放置待检时间不要超过1小时，防止压入的氦气漏出。

3.实验测试时是单独检测工件；批量检测时检漏仪的本底值会成倍的大于单独检测的本底值。

4.批量检测时，发现有漏件，可以逐渐减半的方式，找到具体的漏件。

5.每次检测时，可以空检检漏罐并记录相应的漏率值，做为检测的对比参数。

无论采用哪种检漏检测方法，操作人员都需要有仔细观察的能力和高度责任感，因为错误检查和泄漏检查会造成损失，操作人员发现未知事物的警惕性和熟练程度也非常重要。