机械泵停泵时,泵出口的空气压力将使泵反转,会使泵油返到真空室中,空气也会进入到真空室从而破坏系统的真空。因此需要特殊的阀门把泵和真空室隔开,以防止空气和泵油进入真空室。
电磁压差放气阀是机械真空泵的入口专用阀门,其电源与机械泵的电源联锁,放气阀置于泵入口管道中,其作用为:当泵断电或控制开关断开时,电磁阀动作,向泵入口放气,并且靠大气压力自动关闭泵与真空室之间的管道。泵启动时,电磁阀关闭,泵对阀腔内部抽空,然后阀板靠弹簧压力打开,使被抽容器与机械泵进气口接通。电磁放气阀的常见故障及消除办法如下表所示。
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