近期给人家做半导体晶圆研磨液设备，测量液位居然是氮气冒泡测量方式，大家谁用过？？-专业自动化论坛-中国工控网论坛

发表于：2017-08-05 00:19:42

楼主

近期给人家做半导体晶圆研磨液设备，测量液位居然是氮气冒泡测量方式，大家谁用过？？

仪表都是进口的，测量深度0-2米均可，调节氮气进口速率即可(前端氮气压力0.25公斤)，这个我估计是通过测量残压或者是通气速率来间接检测的

1分不嫌少！

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发表于：2017-08-05 08:00:15

1楼

吹气是液位计，

老古董挖

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发表于：2017-08-05 08:23:45

2楼

什么原理呢？我百度一下。

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发表于：2017-08-05 13:29:30

3楼

吹气法测液位，古老但不落伍。吹气只是一种接液的方法，测量仍然是静压法的压力、差压检测，仪表就是压力、差压变送器，进口不进口一个鸟样。仪表风路部分有几个气动仪表附件，恒流阀（限流孔板阀）、单向阀、减压阀及几个针型阀、闸板阀之类。

吹气法主要用于低于地面的池子液位的测量，用于被测液体易堵易结晶等场合。还有一个应用，在炼油行业的催化裂化反应区内，叫做反吹风差压检测，用于藏量（固体料位）、差压、密度、压力等测量，使用非常多，比吹气法测液位的气路布置复杂一点。

从使用的吹扫风是氮气看，这个液位检测中池子使用了氮封技术，因此这个液位检测是差压法测液位，偶猜测使用的是双法兰差压变送器。如同偶厂的硫磺池液位的检测。

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发表于：2017-08-05 23:36:55

4楼

反正目前在强酸强碱等腐蚀性液位测量且许可气泡的，我们目前都用那个玩意！我发现问题就是与前端气源压力关系不小

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