压阻式传感器的原理和应用简介-专业自动化论坛-中国工控网论坛

发表于：2016-05-25 20:32:36

楼主

在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成扩散电阻，称扩散型压阻式传感器。其压阻特性是因在外力作用下，原子点阵排列发生变化，导致载流子迁移率及浓度发生变化而形成的。

压阻式传感器典型的应用有：压阻式压力传感器，又称为扩散硅传感器，其核心部分是一块沿某晶向切割的N型的圆形硅膜片，在膜片上用集成电路工艺方法扩散四个阻值相等的P型电阻，用导线将其构成平衡桥。

膜片的四周用圆硅环固定，其下部是与被测系统相连的高压腔，上部一般可与大气相连，在被测压力作用下膜片产生应力和应变。

压阻式压力传感器由于弹性元件和变换元件一体化，尺寸小，其固定频率很高，可以测量频率范围很宽的脉动压力，广泛应用于流体压力、差压、液位等的测量，最小的传感器直径可以0.8mm，在生物医学上可以测量血管内压、颅内压力等领域。

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发表于：2016-05-26 05:45:02

1楼

压阻式传感器的原理和应用简介！图？

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