「纯水」、「超纯水」虽是实验用水的名词,却无法明确表示水的纯度。

将水中的导电污染物质去除到比阻抗值达18.2 MΩ.cm(25℃)时,就称为「超纯水」。在此必须注意的是,比阻抗值只是代表水中无机盐类的含量,但并不能表示不含其它种类的污染物质。也就是,称为「超纯水」的水,还是可能含有不确定量的有机物、微粒子、微生物等污染物质。因此,必须同时使用「比阻抗值」与「TOC值」来评估水质。

不论以任何纯化方法来去除污染物质,若无法达到18.2 MΩ.cm的水,都称为「纯水」。例如「离子交换树脂水」、「蒸馏水」、「逆渗透水」等,都属於纯水。「蒸馏水」与「逆渗透水」这一类的纯水,由於纯化速率较慢,都必须使用纯水储槽储存後再供使用,因此,被纯化的水,在贮存过程中却可能受到贮存器材的材质、混杂在空气中的污染物与微生物的污染,造成水质的降低。所以,所谓的「纯水」也无法代表一定会有很好的品质,其水质会因为纯化方法与使用环境的不同而有所不同。

「超纯水」的定义:一般指经离子交换树脂、活性碳、滤膜法去除水中的主要不纯物质,而其比电阻值达到18.2 MΩ.cm(25℃)的水。