半导体晶片位置的测定（平板影印术）高精度位移传感器-专业自动化论坛-中国工控网论坛

发表于：2013-07-08 16:04:22

楼主

目标

1对于在应用于半导体晶片的成产的平板影印术过程中，精确测定Z轴位置，精度保持在亚原子水平。

2 保持高分辨率和可重复性。

3 避免不良的影响，例如抖动，磁滞，以及热漂移等一些列在其他阶段处理中发生的情况。

解决方案

在精确控制Z轴高度的过程中，晶片所在的位置必须精确地在能源的焦平面上。Kaman高精度位移传感器系统可以准确测量Z轴的位置，并且提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出可承受范围。

特点

1 高精度位移传感器类型：SMT-9700

2 非接触性：应用涡电流的技术，每一个高精度位移传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。

3 高分辨率：系统可分辨出1纳米的位置改变。

4 高精度位移传感器可重复使用。

5 应用广泛。

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发表于：2013-07-08 20:43:02

1楼

半导体精度高确实

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发表于：2013-10-20 11:21:00

2楼

曾经听这方面的专家说过这个产品。说试用范围都很广泛的

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