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求助：DDR 电机在半导体工艺设备中的应用 点击：495 | 回复：3



初感人生

    
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发表于：2008-01-18 09:42:00
楼主
我向各位求教DDR 电机在半导体工艺设备中是怎样应用的 希望大家不吝赐教 谢谢
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firstrazor

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发表于：2008-01-18 11:28:00
1楼
太普遍了，本人在半导体工设备中应用过以下方面：

直线LDD: 任何高速，高加速度，高精度的直线运动。
旋转RDD: 旋转工作台，旋转工作头，等
X-Y-Theta工作台：LDD和RDD的组合。RDD的空心直径可能很大（>12英寸晶园片+张紧圈）。晶片或芯片的拾取，放置

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初感人生

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发表于：2008-01-21 08:41:00
2楼
谢谢
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姑苏城外

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发表于：2008-01-21 11:57:00
3楼
楼主要的是DDR电机还是RDD电机？半导体用DDR电机吗？愿请教！
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