细述人类对压力的认知过程及压力传感器的发展历程(申精)-专业自动化论坛-中国工控网论坛

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发表于：2007-12-04 14:29:00

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1594年,意大利科学家伽利略,发明水泵并获得专利,将水抽到沟渠灌溉土地.机器的心脏与现在的注射器相似.伽利略发现,水至高只能抽高10米,但是他没有解释这一现象,科学家则努力寻找原因.

1644年,伽利略的学生托里切利进行了著明了水银管实验,表明大气压力可托起760MM的水银柱,管子一端是空的,不存在压力,其称之为真空.托里切利还发现,水银柱的高低是可以改变的,当下雨或阴天的时侯,水银柱的高度会降低,称之为低气压.因此,托里切利根据此原理制作了气压计,成为当时测量天气变化的主要仪器.

1648年,法国天才.哲学家.物理学家.数学家.叫兽,帕斯卡尔,通过反复的托里切利试验,计算出了空气的重力,并且指出了气压在山谷及河流的变化,压力有了一个较明确的计算方式,使物理力学朝着一个全新的方向发展.后人为了纪念他,用他的名字为国际通用的压力单位:帕斯卡.

1656年,德国著名的科技家奥托冯俞雷克,进行了著名的两个半球实验,证明了真空的存在.其用来抽真空的方式及现在活塞式泵的原形．

1661年，化学家罗伯特贝尔通过Ｊ形管试验，证明了气压与体积的关系，指出等量气体气压随体积变化而变化，而不在于气体量的多少．

1820年，200年后，法国物理学家吕萨克，通过试验侦测到，压力的增加，气体的恒定体积及温度是成正比的．

1843年，法国科学家发明了晴雨表，并同时利用弹簧替代液体，用指针示方式来测量压力．1849年，尤金布氏申请专利，制造了世界上第一只弹簧指针式压力表．此压力表在工业方面应用相当长时间，具有相当重要意义．

1938年，金属应变计在加州技术及马萨诸塞州研究所分别独立研制成功，并且被很快申请了专利．但是这种丝式应变计具有严重的滞后及不稳定性．

1955年，箔式应变计开发成功．并且其电路处理部分随着研究摸索出了一套综合性的电阻桥．

1965年，薄膜式传感器研制成功，成功地解决了以往传感器严重的滞后性，在中高压测量方面一直沿用直今．

1967年，美国霍尼维尔研究中心研究为其硅压阻式膜片申请了专利．硅材料制作的压阻传感器，在灵敏度，滞后等方面有无可比拟的优越性．但是随着温度变化，特性变化也大，可以测定电路上下功夫以得到补偿．

1969年，汉斯凯乐为其扩散硅式压力传感器申请专利，其为传感器批量集成电路技术亦被视为巨大进步．

1973年，电容式传感器开发成功并被申请了专利．这一技术填补了空白，在低压测量场合，其电容式陶瓷压力传感器表现了优越的性能．

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