发表于:2003-07-22 08:57:00
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早在70年代,俄罗斯的科技人员就对应变效应在异质外延半导体结构--“蓝宝石上的硅”(SOS,Silicon-on-Sapphire)的特性,进行了深入的研究,取得了很多科研成果。利用这些科研成果和专利技术,生产出了一系列热工测量仪表, 并不断完善已生产仪表的各项性能,尽全力满足工业、能源、运输、市政和其它领域的用户对测量压力方面的需求。
工作原理和结构组成:
MIDA系列压力传感器和变送器,利用应变电阻式工作原理,采用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件,具有无与伦比的计量特性。蓝宝石系由单晶体绝缘体元素组成,不会发生滞后、疲劳和蠕变现象;蓝宝石比硅要坚固,硬度更高,不怕形变;蓝宝石有非常好的弹性和绝缘特性(1000℃以内),因此,利用 硅-蓝宝石制造的半导体敏感元件,对温度变化不敏感,即使在高温条件下,也有着很好的工作特性。蓝宝石的抗辐射性极强;另外,硅-蓝宝石半导体敏感元件无p-n漂移,因此,从根本上简化了制造工艺,提高了重复性,确保了高成品率。
表压压力传感器和变送器由双膜片构成:钛合金测量膜片和钛合金接收膜片。印刷有异质外延性应变灵敏电桥电路的蓝宝石薄片,被焊接在钛合金测量膜片上。被测压力传送到接收膜片上(接收膜片和测量膜片之间用拉杆坚固的连接在一起)。在压力的作用下,钛合金接收膜片产生形变,该形变被硅-蓝宝石敏感元件感知后,其电桥输出会发生变化,变化的幅度与被测压力成正比。
变送器的电路能够保证应变电桥电路的供电,并将应变电桥的失横信号转换为统一的电信号输出(0-5,4-20mA或0-5V)。
主要特点:
· 压力测量范围宽(4kPa~250MPa)
· 温度范围宽(-100℃~+700℃)
· 可靠性高,工作稳定(经1000万次最大压力负载循环后,传感器性能无任何变化)
· 精度高(0.1;0.25),外形尺寸小,重量轻
· 双膜片结构的优点在于:
☆测量范围极宽;
☆钛合金金属膜片可以耐受10倍以内的过载,而不损坏传感器,非常适合于爆炸危险场合;
☆由于仅通过膜片,而不必通过脉冲管或膜片下部腔体测量压力,因此,极大的扩大了被测介质的范围,尤其适用于脏污介质的测量(如:粘稠或结晶液体,固体颗粒中的气体悬浮物等),以及测量高温介质(可达500℃,如发动机汽缸中气体的温度)。
具体情况请见http://www.ru-cn.net/frames/mida.htm,也可以直接进入http://www.ru-cn.net/frames/jishu.htm直接下载资料。
如需帮助,请致电:010-82031403,82031052转809 路先生