利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化 点击：58 | 回复：0
发表于：2021-09-07 08:51:49
楼主
本案例介绍利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化，通过优化扩散器以生成一个圆形的top hat。
关键词：衍射光学，衍射光学元件，均匀（homogenization），扩散器，准分子激光，部分相干
所需工具箱：Starter Toolbox Premium
相关Tutorials：HSL.1, DO.2
建模任务
衍射扩散传输器 目标平面
强度分布
照射光束参数
·光源面尺寸：100×100um
·发散角（HWHM）：0.89×0.89°
·空间相干长度：3×3 um
·波长：351nm
衍射发散器
·取样间隔：5um
·尺寸：640×640um
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