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CMS是一种高可靠性气体质量流量计，使用了山武公司开发的微流量μF传感单元，该传感器是一个感热式的质量流量传感器，可以测量极低流速的流体流量，微流量传感器芯片和先进的流路设计技术的结合使该仪表测量精度高、量程比大，且成本低。

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