微型压电线性马达驱动的三维探针台具有结构紧凑、高精度、多功能、响应迅速及高性价比的特点，是实验室及生产检测设备的最佳选择。该探针台采用了模块化设计的理念，可以十分方便地组合成各种探针检测设备，旨在满足各种诸如单切晶片、4’’以下晶圆、LED 芯片、模块、印刷电路板组件和微流体芯片等多种器件的精密电测量的需要。该三维探针台配备专门的3 轴霍尔控制元件，可在观测的时候同时进行灵活和精准的操作。同时具备十分优良的可扩展性，可根据需要选配各种不同部件进行功能上的升级。

应用领域：

晶圆测试、 射频测试、LED 测试、 高温环境测试、功率器件测试、 低温真空测试、MEMS 测试、 低电流（fA）测试、PCB 测试、 I-v/c-v/p-iv 测试、液晶面板测试、 高压，大电流测试、太阳能电池片测试、 特殊气体环境测试、材料表面电阻测试、 强磁环境测试、纳米器件测试、 辐射环境测试

可选配件：

1、光栅闭环系统

2、不同规格探针

3、压电超精密 XY 轴样品载物台或手动XY 样品载物台

4、不同规格显微观察系统及显微镜万向连接装置

5、可定制不同规格尺寸安装底座及连接底板

6、真空吸附型卡盘（不锈钢、黄铜材质可选）

7、积分球夹具

8、视频 CCD 系统

9、封装器件夹具

10、PCB 板夹具

11、样品加热系统

12、光学隔振平台

13、屏蔽箱

14、强磁场及高真空度使用请直接咨询厂商以获得更加详细的信息

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