直线电机与压电平台在纳米级运动定位的区别 点击：438 | 回复：1

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发表于：2011-06-02 14:57:10

楼主

  直线电机：在光栅尺反馈+细分  可以达到10nm的分辨率

  压电陶瓷精密平台：  分辨率也是纳米级10nm以下

请问在纳米级的运动定位上有什么区别呢？

在纳米级平台的领域中，我们主要用压电平台。直线电机主要用在微米级吧。

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