有没有能精确测量到液面距离(5um以内的精度)的传感器方案? 点击:5812 | 回复:76



cemi

    
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发表于:2008-09-12 19:38:18
楼主

公司目前准备上马一个项目, 其中的一个部分要实现精确测量到液面的距离, 精度在5um以内就可以,预定用激光位移传感器, 看了不少公司的激光传感器的资料, 但方案还是没有定下来, 主要是一个可行性的问题, 请问有哪位知道激光位移传感器能不能用于液面距离的测量, 什么公司的产品能达到要求。如果不能有没有其他可行的方案, 谢谢!




cemi

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发表于:2008-09-20 20:14:32
41楼
引用帅克仪器029-85398206 的回复内容:

AUTONICS张 小哥哥:

        楼主讲了:“这个液体主要是作为一种提供水平基准”,也就是说呀,楼主测液面位置,是要把液面,控制到某基准平面,上下5μm范围内的

        咱把容器的透光率、折射率、吸附效应、以及液体的表面张力等等的因素,全部不考虑,

       咱就把问题简单化,单说图象识别,,,咱就单说图象识别的背景好了,,,俺想最简单的识别,就是在背景上画2条线,线的间距=2×5μm=10μm, ,, 识别系统呢,只要能检测出液面落在两条线之间,就算成功,至于具体正几μ负几μ,咱还是别难为咱自各了吧,

 

        试问: 

              ①你拿什么方法,来保障所刻画线段的毛边,≤1μm?         线段也不必很长,就10cm、或者5cm、或者2cm吧,

              ②你拿什么方法,在背景上,刻画出两条间距10μm的线段?     

              ③你又拿啥子方法啥子设备,来安装固定你的背景,保证那背景上的两条线,水平度≤1μm ???

                 

 

        你先考虑一哈,给你10万个元,你寻得到解决这三个问题的人才吗?,,,,再给你10万个元,你寻得到加工那两条线段的设备吗?,,,,再给你10万个元,够你支付加工费、检验费、安装费吗?




你把这个问题越扯越远了, 我感觉已经偏离解决这个方案的核心问题。AUTONICS张 说的其实是实现激光三角测量法的一个 方案, 这个方案并不涉及到刻什么线的问题。 现在的CCD传感器像素的间距一般都达到微米级了,然后通过镜头把 光点的位移放大10倍甚至几十倍, 那么对CCD的数据的分析完全可以分辨出微米级的位移, 这个也是目前商品化的激光位移传感器所使用的办法, 只不过他们使用高精度的镜片, 和高分辨率的CCD传感器, 还有就是好的激光光源, 所以他们能做得很小的体积跟很高的精度(0.01um)。

其实这个方案的两个核心问题是, 一是液体的稳定性, 第二是激光三角测量法对于液面测量所能达到的精度。现在这两个问题要不求教有相关经验的人,要不就是自己做实验了。那么在自己做实验之前当然是向有经验的人请教了, 这个也是我来这里发帖子的原因了, 所以还请大家热心指教了。

newchp

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发表于:2008-09-20 23:09:41
42楼

从方案上来说,用普通的传感器作粗测,然后用视觉传感器作细小差别的微调,以前参加过NI的论坛,他们做过液体中的微小颗粒物的检测.这个项目应该也有可行性

cemi

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发表于:2008-09-20 23:54:19
43楼
引用eric2000 的回复内容:液面的稳定性能不能达到5um是个问题, 激光位移传感器测量精度没有问题, 不同材质的薄膜, 刚性差别很大, 每一个建筑物都在以他的固有频率震动, 世界上最好的防震台,也没有这个参数,呵呵. 检测方法,我倒是觉得 用高分辨率镜头 , 干涉仪 ,平行光管 都可以实现.



我这个设备是安装在一个比较大的水泥基础上面的, 我自己的感觉是如果附近的路不是凹凸不平再加上不是有大型的货车经过的话应该不会产生超过微米的影响, 并且如果有需要的话可以通过使用一些粘稠度高一些的油类的液体来提高液体的稳定性, 所以现在初步的结论是地面的震动所带来的影响可以忽略, 但这个还要进一步确定。

cemi

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发表于:2008-09-21 00:01:33
44楼
引用newchp 的回复内容:

从方案上来说,用普通的传感器作粗测,然后用视觉传感器作细小差别的微调,以前参加过NI的论坛,他们做过液体中的微小颗粒物的检测.这个项目应该也有可行性





视觉传感器在这个方案中我暂时还想不出方便的应用, 这个是因为我对视觉传感器这方面了解得比较少, 这个方案中涉及的是垂直于水平面的距离的测量, 如果用视觉传感器的话感觉非常的不好操作, 就不知道你的是怎样的一个方案, 能再详细一些吗? 谢谢了!

newchp

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发表于:2008-09-21 00:27:03
45楼

看起来是有点那个啥了.

想想哈,用千分尺都可以达到一丝,,等于10U,就没有人搞,没有设备搞得定比千分尺精度高2倍的东西?

newchp

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发表于:2008-09-21 00:27:37
46楼

看起来是有点那个啥了.

想想哈,用千分尺都可以达到一丝,,等于10U,就没有人搞,没有设备搞得定比千分尺精度高2倍的东西?

newchp

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发表于:2008-09-21 00:30:35
47楼

帅克仪表上面的数字准确性不对,

你说CCD传感器,能达到0.01um的精度???那是不是首先得,提供给传感器一个准确性高于±0.005um的标准距离,来校准它和验证它?

楼主说的是5U,不是0.005U,这个差别大了

 

实在不行,用类似千分尺的东西(是哈,偶也不知道???),再用视觉放大10倍不就得了?(有点异想天开了?)

cemi

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发表于:2008-09-21 11:53:37
48楼
引用帅克仪器029-85398206 的回复内容:

CCD传感器,准确度指标最高给得是多少,俺也没记住;

只是觉得,楼主讲的CCD传感器有“很高的精度(0.01um)”,大约是闹错了,

 

三鹿奶粉是中国名牌,国家免检产品,三鹿婴幼儿奶粉配方,还他娘的获得了科技部科技进步二等奖,这个世界的骗术骗招毒奶,多得要死

 

所以俺多打了点字,给人提个醒,,,




可能是我表达得不是很清楚, 我这里说的0.01um的精度准确来说是0.01um的分辨率, 这两种说法有很大的差别, 但在某些情况下可以说是等同的, 例如在我这个方案中, 能有0.01um的分辨率就相当于有0.01um的精度了。他这个技术指标其实是一个相对指标而不是绝对的指标, 正如你所说的温度, 差一度可能就相差超过1um了更不用说0.01um。

 

这里是我找到的两家激光位移传感器的资料, 一个是日本的基恩士的LK-G系列, 标的分辨率是0.01um, 他自己号称业界最高, 第二个是德国的米铱optoNCDT 2220, 分辨率0.03um, 下面是的两个连接是他们官方网站上的介绍。大家帮忙去看看他们说标的数据有多少的水分。不过这个好像对我来说没什么意义因为就算他们夸大了100倍还是能满足我的要求。

http://china.keyence.com/products/vision/laser/lkg/lkg.php?lf=KA

http://www.micro-epsilon.com/en/Sensors/Optical---Laser/

芳季

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发表于:2008-09-21 12:45:08
49楼

我也幻想一下。

在液面上漂浮一张平整的反光物(液镜)。用类似头发丝的东西固定镜片方向。

处于镜片的上方安装另一片镜片(气镜)。与标准水平面基本保持平行。

安装一平行光源,斜向投射到两镜片之间。

假设经过10次的反射,在最后一次反射的目标安装一感光的仪器。

当液面升降的时候,最后一次反射的光斑一定会接近或者远离光源。并且会与液面移动的距离存在一定比例的10倍关系。

当光源斜向投射角度接近90度时。反射次数会增加到很大很大(关键受气镜的安装影响)。这样就可以放大液面位移的量级。

cemi

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发表于:2008-09-21 16:18:35
50楼
引用帅克仪器029-85398206 的回复内容:

1、入行10多年了,不断在碰到,将分辨率当准确度精度来说事的事情,,,呵呵

2、俺只用过千分尺,万分尺,10万分尺,真的是也没听说过也没见过,所以你讲的那个分别率0.01um,是不是“货真价实的”、“有效的”

       俺还想不出验证它的办法,,,

       你需要的指标,其实是仪器对同一个量值,例如15mm,反复多次测量的复现性,也就是常说的重复精度     

        而重复精度,不做实际测试的时候,通常是用 非重复性、迟滞、零位稳定性 三个指标,来推断估算的

3、现在咱来看看你讲的那个optoNCDT 2220的给的资料

       量程( ranges):2~200mm     【 死区2mm 】

       线性度(linearity):±0.03%      【 乘以满量程200mm,线性度就是±60um 】

       分辨率(resolusion):0.0015%      【 乘以满量程200mm,分辨率度就是3um 】

       非重复性:无

       迟滞:无

       零位稳定性:无

       长期稳定性:无

       输出信号:???

4、你怕得再找点更细致的资料




你现在说的正是我要探讨的,很高兴终于到了点子上了。 正如我上面提到的核心问题之一其实就是激光位移传感器的使用技术,我看了一遍上面两家传感器产品的数据手册跟使用手册, 但有一些指标不是非常的理解, 主要的一个是线性度这个指标不是很理解,另外一个就是你说的分辨率跟精度的关系,这个真的还不是那么清楚,我目前的理解就是如果在测量的表面是一个理想的测量表面的情况是测量的精度就相当于分辨率,但不知道这样的理解是不是对的, 很希望能听听大家的意见。另外我把米铱ILD 2200-2的数据摘录下来, 大家一起来看看那些指标的含义。

 

Model

ILD 2200-2

Measuring range

2mm

Start of measuring range SMR

24mm

Midrange MMR

25mm

End of measuring range EMR

26mm

Linearity

1um

<=0.05% FSO

Resolution

(at 10 kHz without averaging) 

0.03um

0.0015%FSO

Measuring rate

10kHz

Permissable ambient light

30000lx

Spot diameter

SMR

80um

MMR

35um

EMR

80um

Light source

semiconductor laser <1mW, 670nm (red)

Laser safety class

class 2 acc. DIN EN 60825-1/A1 12.99 / IEC 825-1/A1 12.99 / FDA

Protection class

sensor: IP 65 / controller: IP 50

Temperature stability

0.025%FSO/℃

Operation temperature

0..+50

Storage temperature

-20..+70

Output

analog: ±5V     digital: RS 422 / 691.2kBaud

Power supply

24VDC(±15%), max 500mA

Sensor cable length

standard: 2m - integrated     option: 5m/10m

Controller

functions: auto zero / signal averaging

Electromagnetic compatibility (EMC)

dimensions: 143mm x 145mm x 52mm - without mounting clips

Vibration

EN 55011/12.1998 and EN 50082-2/ 02.1996

Shock

2g / 20 ... 500Hz

Weight

sensor

~550g

controller

~1000g


cemi

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发表于:2008-09-21 16:25:19
51楼
另外两家的产品手册里面都提到了透明物体的测量, 从他们的手册里面看出他们的产品对于透明物体的测量是切实可行的, 虽然看到这样的说明但对于这个方案中液体的测量还是没有找到肯定的答案, 还要进一步的研究。

cemi

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发表于:2008-09-21 23:33:33
52楼

测量到液面的距离的目的是得到一个绝对的水平的平直基准,设备的运作都有赖于这个基准, 所以这个基准非常的重要。 我想不到比测量到液面距离方便的得到一个绝对水平的平直基准的方法了, 所以目前还是以测量到液面距离作为突破点。

现在通过讨论可以把问题又具体化了很多, 现在就集中在传感器的几个技术指标上了,

1. 关于迟滞指标我觉得这个在这个方案中不用考虑, 主要是测量的频率很低, 不到0.1Hz, 比他们的标称的指标低很多。

2. 关于线性度其实可不可以理解为在测量量程内的最大误差呢?

3.  重复精度这个反倒是一个要重点考虑的指标, 关于这个指标从我目前能得到的资料中还真没有详细的说明这个问题, 从米依的产品使用手册里面提到的光点在被测物体表面反射的几种情况可以推断出这个重复精度其实跟被测物体的表面有很大关系, 主要是一个光点在被测表面反射后会产生不同程度的散射, 这种散射应该就是导致重复测量误差的一个因素, 我估计这个问题应该就是这种测量设备技术要求比较高的一个地方吧特别是在测量频率高的时候。 在我的这个方案中被测的液面, 那么反射的情况比那些固体的表面要简单很多,那么这个重复精度会不会就非常的高呢?   以上我自己推断的, 不知道对不对希望大家能发表一下自己的见解。

4. 使用2mm的量程的确会很麻烦, 我也不会用这么小量程的型号, 上面只不过是随便拿一个型号来举个例子, 如果能行得通的话我应该是选用5mm量程的型号, 量程大一些分辨率会降低, 但还是能在要求的精度范围内,并且0.03um分辨率的型号我估计肯定超过5w一个, 我从网上搜索得到一些信息就是基恩士1um分辨的大概卖2w多, 关于价格方面我还真希望对行情比较了解的给我们说说, 好让我们心中有数。

cemi

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发表于:2008-09-23 11:17:55
53楼

非常感谢帅克大哥的指导, 现在对于测量仪器有了一定的认识, 起码搞清楚了一些基本东西, 现在剩下来的好像只有问那些激光位移传感器的生产商的技术人员了, 因为他们产品的适用范围他们应该会比较清楚, 先听听他们怎样说吧。

CTX-SUZ

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发表于:2008-10-22 13:23:08
54楼

2种方案?? 1 采用科瑞 rechner?? 的模拟量的 电容传感器???

???????????????? 2采用科瑞 rechner 的 高能性的 专门检测 液体的传感器

?

LCD ,LED 制造过程,对液体的限位控制,如水、去离子的水、清洁剂或化学品,如:NaOH、HCL、H2SO4...

全PTFE外壳封装,包括PTFE材料的电缆线
高防护等级IP68,甚至IP69K
耐高温100℃ and CIP 121℃
非接触式检测,透过非金属性质的容器壁来检测
通过旁通管检测,安装方便 (不受液体颜色影响)
检测高传导性质的材料和全是泡沫液体的专用传感器
应用于危险区域的ATEX 传感器
所有传感器带有高亮度的2种颜色的LED
用于本安传感器的隔离栅
全PTFE 封装的防漏液传感器
电容模拟量测量限位-甚至通过旁通安装解决
非接触式检测晶片,不受玻璃反射光的影响

承宇

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发表于:2008-10-24 11:51:58
55楼

其实这个东西难度真的比较大,理论上测量精度是可以到5um的,但是你的环境得非常非常好。就如帅克讲的,需要这么高的重复精度,温度湿度等都要考虑。我公司也正好有这类产品,量程是24-26毫米。我卖过一台精度低一些的给航天方面的公司,技术人员后来给我电话说精度在8um那样,不过我没有去他的现场。而且不管是基恩士的还是米依的,这个透明体好像都是指的玻璃,水,不知道行不行?

承宇

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发表于:2008-10-24 11:56:24
56楼
其实我对这个分辨率有很大的不惑,日方的技术人员也没有跟我解释清楚,这个中间存在一个翻译的问题,我的理解是重复精度

精密运动

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发表于:2008-11-28 11:58:15
57楼

我们有现成的解决方案!

如方便请联系:0512-66575990

wenjian1

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发表于:2008-11-28 12:36:28
58楼
学习中                                     

baumer

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发表于:2008-11-28 15:49:31
59楼

借楼主的帖子:

如果不是液体,而是透明薄膜0.2mm厚,精度2微米,有传感器可以实现的吗?

雪落无痕

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发表于:2009-02-20 11:51:23
60楼

很难吗;奇怪...........................


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