发表于:2007-01-17 16:31:00
44楼
下面引用由帝国时代在 2007-1-16 15:02:00 发表的内容:
请教曹工和lly:旋片泵-罗茨泵-分子泵分级的方法。
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采用母管制,
旋片泵从一级母管抽到大气;
罗茨泵从二级母管抽到一级母管;
分子泵从各腔室抽到二级母管.
各级设置了多个电磁阀, 和真空表, 腔室和二级母管用的真空表要求是很高的.
分子泵在腔室内, 泵与电机一体化, IP67以上,转速30000转/分以上,轴承有机械的也有磁悬浮的, 水冷却, 流量开关连锁保护.
整个逻辑控制并不复杂, 只是对仪表和设备要求很高, 分子泵更是昂贵的价格, 10^-6以上的进口分子泵, 每公斤与黄金价格差不多.