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光栅尺来检测30nm定位精度 点击：1981 | 回复：12



看破了

    
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发表于：2003-06-18 10:02:00
楼主
请问，用光栅尺来检测30nm定位精度，应怎样选购光栅
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阿拉丁

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发表于：2003-04-07 10:00:00
1楼
我可以给你选，告诉我你在什么地方？做什么项目？ proposition@263.net
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机械探戈

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发表于：2003-04-11 17:36:00
2楼
月亮你好! 我公司是英国RENISHAW光栅尺中国总代理!! RENISHAW光栅测量系统 一、RG2、RG4直线光栅测量系统 独特的开放式非接触反射光栅系统 与传统光栅相比，大大降低用户对光栅安装、使用、维护的要求 外型小巧、安装极其简便快捷 抗灰尘、抗划痕 读数头与标尺之间的距离及公差大大优于传统光栅 独创的内置式安装状态指示灯保证光栅安装及使用时勿需任何监测设备 提供对光栅测量系统使用状态便捷、可靠的适时监控 光栅尺可根据要求非常方便地裁剪至任意长度，极大方便用户不同测量长度的需求和库存管理 与安装面优异的热匹配简化了系统热补偿，真正达到反馈元件与被测量对象热性能的最佳匹配 分辨率可达10纳米 开放式非接触、最高速度达15m/s 内置细分电路，体积小、重量轻 规格繁多的读数头提供工业标准的模拟和数字输出 二、 典型应用领域： 计量和检测 装配和测试 直线电机 半导体制造和测量 印刷和影像 运动控制 科学仪器 自动插件机 医疗仪器 空间测量 专用机床 超高精度机器和装置 三、RGR、RGSR圆光栅系列 RESR高精度系列精度达0.7角秒 独特的锥面安装方式确保安装快捷、精度高，不需联轴器 重复性精度0.01角秒，最高分辨率0.01角秒 没有反向间隙 刻线从4,096到64,800线等多种选择，优异的性能价格比 最高速度达3000rpm 外径从52mm到413mm多种规格供用户选择 轻巧、大内径、低转动惯量（横截面小于10x20）可最大限度地满足用户安装要求 四、RGX平面网状光栅 外型小巧、便于集成 高精度，彻底消除阿贝误差、正交误差 安装简便，容污性强 五、其它系列 开放式玻璃光栅 RGH34裸头系列 RGE细分插补接口（信号细分最大2000倍） 您可以致电010-82025588-32找Johnny咨询，索要详细样本！！ 真心真意，为您服务！！
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chenqi_1

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发表于：2003-04-11 18:59:00
3楼
机械探戈：您好！ 请问“RG2、RG4直线光栅测量系统”的价格如何？长期稳定性如何？ chenqi_1@hotmail.com
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机械探戈

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发表于：2003-04-14 08:50:00
4楼
您好!! “RG2、RG4直线光栅测量系统”的长期稳定性非常好,因为其处理电路及细分电路都是内置在读数头里的,读数头与尺带的安装精度要求不高(0.8+/-0.1mm）。不会因为尺带的划伤、污染影响读数头输出信号的连续性。 至于价格，要看你需要的尺带长度了！！
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miclon

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发表于：2003-04-17 12:56:00
5楼
你为什么不出门呀 sigh
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atticus

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发表于：2003-04-23 09:36:00
6楼
我想求购定位精度30nm,行程100mm,光栅尺，要确实能达到的。很多回复只提到分辨率，与我的要求相差很远。
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机械探戈

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发表于：2003-04-23 17:05:00
7楼
呵呵,是这样的,光栅尺只有安装到设备上,并与控制系统构成闭环,这时才可能讨论定位精度,而且指的是整个系统的精度。仅仅一条光栅尺只有分辨率的指标,无法说它的定位精度!"定位精度"检测出的系统最大定位误差,误差越小，表明精度越高。精度是不能制造出来的。整套系统的定位精度与驱动传动部件的精度以及上位控制系统的A/D和D/A指标有关！ OK，有何问题可以继续讨论，也可以致电010-82025588-32找Johnny沟通！ 真心真意，为您服务！！！
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打破沙锅

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发表于：2003-06-06 16:57:00
8楼
我这里有大量光栅尺，编码器的资料及信息(很多厂家的)，如有需要，可以和我联系! 杨颖波 13511024110
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@Q

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9楼
我认为用光栅尺无法达到30nm精度，只能达到分辨率。 光栅尺是靠读取光尺刻线来达到测量，光线在30nm已发生衍射，更不用说能够刻线了，即使能，由于玻璃的热膨胀系数为10的-7次方，无论在加工还是在使用中，都很难保证达到30nm的精度。所谓分辨率是靠电子细分达到的。 我公司代理德国海德汉光栅尺和编码器，海德汉的光栅尺精度最高为0。1um,分辨率最高为1nm 我公司尤其突出的是绝对型多圈编码器，在国内有大量应用（如三峡工程），欢迎来电询问021-32030048/32031167
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机械探戈

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10楼
呵呵，RENISHAW光栅编码器系统属于非接触式反馈系统： 其尺带采用的是直接刻线的镀金钢带，读数头与尺带的安装间隙为0.8+-0.1mm，无需任何辅助工具，但靠肉眼和双手，分分钟轻松搞定！！且读数头自带LED显示，红灯亮表示没安装好，橙色表示处于临界状态，绿灯则表示安装OK！
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mqh_ld

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发表于：2008-04-16 10:44:22
11楼
光栅尺相关的详细资料可不可以邮寄一份与我：武汉利德测控技术股份有限公司   马庆红（027－59810783）   地址：武汉市洪山区北港科技园文治街16号利德工业园（430070）
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kzqjun2008

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发表于：2008-04-29 22:46:07
12楼

您好：用光栅尺能实现高精度吗？我用了分辨率为1um的光栅尺，也能根据其反馈回来的数据进行补偿。但后边用激光干涉仪进行实际位置测量时，发现光栅尺显示的数值和激光干涉仪测得的数据不符。相差挺大的，这能说明光栅尺不够准确吗？？？

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