
太阳能电池、半导体芯片这种精密玩意,表面一道划痕、一个杂质点,性能可能直接打折。肉眼根本看不见,等装到产品上才发现问题,成本可就高了去了。
最近看了下汇光HGO正置金相显微镜,感觉挺能打。
它支持最大300mm晶圆和17英寸液晶面板检测,标配6/8/12英寸多规格转盘。放大倍率50X到500X,低倍看全局、高倍盯细节。重点是可选的观察模式很实用:
明场是基础模式,从低倍到高倍都能获得清晰平坦的图像。
暗场专门抓表面缺陷,划痕、杂质点、微裂纹在暗背景下亮得清清楚楚。
DIC微分干涉更绝——明场下看不清的微小高低差,能转化成高对比度的立体浮雕效果,LCD导电粒子、磁盘划痕这些细微缺陷一目了然。
8英寸三层机械移动平台,移动范围210mm×210mm,大面积样品一次扫完。调焦精度0.001mm,微米级测量也够用。
一句话:精密材料有没有缺陷,显微镜下一看全知道。


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