激光干涉仪是用光波为基础载体，以激光为长度基准的高精度、高灵敏度的检测仪器。激光干涉仪不但广泛用于数控机床、激光切割机、光刻机等高端设备，还能用于计量校准领域。今天华中航就为大家介绍几种普遍的案例。

1.成像仪的定位精度的测量

传统化成像仪检测方式是使用线性比例尺比较法开展的，具有检测精度低、测量系统偏差大、欠缺原因分析功能、改进措施有偏差、检测效率低等现象。激光干涉仪适合于快速检测成像仪的定位误差，计算和分析测量数据，并通过该软件制作补充文件，快速实现二维平面多点补充，可大幅度降低设备制造环节的精确度计量校准难度，提升计量校准效率和补充效率。

2.测量三坐标测量机的示值误差

伴随着三坐标测量机技术上的更新和进步，使用传统化量块和球板可能很难达到大型三坐标测量机的检测需求。激光干涉仪检测精度高，检测范围大，测量数据丰富。可用于测量三坐标系的几何误差。

3.长度测量机计量校准

传统化长度测量机的示值误差主要通过量块做好计量校准，受环境因素影响较大，对计量校准标准要求严格，而检测范围超过1米的长度测量机须要分段校准，这也是低效率的，而使用激光干涉仪做好校准，不但可以提升效率，也可以通过环境补充单元对空气温度、压力、湿度和物料温度进行补偿，提升计量校准精确度。

4.位移传感器验证

用激光干涉仪对位移传感器做好计量校准已成为了一种发展方向，特点是检测精度高、响应速度快、有利于数字化测量。在测量之中建立一个精密导轨，然后把反射镜和被测传感器放一起做好同步检测，从而产生对比。位移传感器自动检定系统和SJ6000激光干涉仪（标准）对定长位移进行了测试和对比，取得往复试验实验结果。