维修真空设备的要点是判断故障。往往是真空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，也许真空机组的抽气能力不够，也可能是漏率偏高，又或者两种可能都有。这时，应该耐心观察和记录，从中找出故障。比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候关闭主阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，这时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上来，看是哪里出现了泄漏，或是泵出现故障；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵油乳化，轴封漏油等故障。

一、检测漏率：  

用户最头疼的问题就是检测漏率。漏——分内漏和外漏，外漏比较好检测，内漏则难办些。较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，比如用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。  （1）   漏和微漏的查找：  小漏和微漏就比较难查了，大家常用的方法是利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如丙酮或乙醇，用医用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了——也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，然后再喷射。最好是反复几次，确认漏点。

（2）   漏和外漏的查找：  

内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏。例：有一台25㎏中频炉，配有2X—70旋片泵和两台ZJ—150罗茨泵加到一起抽也只抽到10 Pa，ZJ—150泵的作用显现不出来，没发现有外漏，却具备了机械泵油很快乳化，真空室内铁基件明显锈蚀的条件，解体设备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏水，剩下就是查出漏点。先把内壁清理干净，再通冷却水，看有无湿润点，湿润处就是漏点。

二、故障点的处理：  

找出故障点就可以因地制宜地进行处理了，简单的办法就是换件，小到胶圈，螺栓；大到阀门，真空泵，只要手头上有的都可以换。对于需要焊接的部位应按要求来进行，焊接后还需确认是否达到了要求。 三、维修时要注意的环节：  

维修应注意几个环节。即拆卸、清洁、检验及装配。  

真空设备无论大小都属于精密机械设备，这点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则，不能蛮干，一定不能用大锤去敲。严禁用手直接接触真空设备内部、内部零件或密封面，设备维修后重新装配前一定要仔细检查密封面有无划伤，并根据实际情况要清洗接触部位和密封面。

清洗零件时要干净，彻底，以便于发现问题和查出隐患。真空泵类产品与一般机械产品有较大区别，一般机械产品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易伤手应多加小心，切记。千万别把楞角倒去。  

检验是个细致活，每个细节都不要落掉，任何细微的地方都可能是问题所在，所以不能存在侥幸心理。  不论是用汽油还是其他溶剂清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶剂彻底挥发了才能进行装配。真空泵油若与其他的油或溶剂或水混合会破坏其性能，影响真空泵的性能指标。胶圈要擦干净，仔细检查有无缺陷和裂纹，尺寸是否正确，尺寸不对将影响密封。凡是有加热位置的胶圈，每次拆卸清洗时必须换，装配时泵件同样需要轻拿轻放；紧螺丝时用力要均，要从对角紧起。动密封多用轴封，上轴封时要细心，先检查轴封本身有无缺陷，密封面是否平整，轴封簧弹性如何，在轴封内侧可薄薄地涂上一层真空脂，上轴封时用力要均，骨架轴封不要压偏了，偏了就会漏油、漏气，轴封簧别挤进去，没了轴封簧轴封就失效了。注意轴封与轴的同心度，有的泵是用对轮连接的，对轮的同轴性要求很严格，装配时要从轴的四面去量，保证平行一致。罗茨泵的对齿轮调整的关键是两个8型齿轮不相碰。

维修切记不可操之过急，故障没搞清楚就想当然的开始动手拆卸，旧病未除又添新病，把简单的问题复杂化了。

维修真空设备的要点是判断故障。往往是真空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，也许真空机组的抽气能力不够，也可能是漏率偏高，又或者两种可能都有。这时，应该耐心观察和记录，从中找出故障。比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候关闭主阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，这时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上来，看是哪里出现了泄漏，或是泵出现故障；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵油乳化，轴封漏油等故障。

一、检测漏率：  

用户最头疼的问题就是检测漏率。漏——分内漏和外漏，外漏比较好检测，内漏则难办些。较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，比如用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。  （1）   漏和微漏的查找：  小漏和微漏就比较难查了，大家常用的方法是利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏，比如丙酮或乙醇，用医用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了——也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，然后再喷射。最好是反复几次，确认漏点。

（2）   漏和外漏的查找：  

内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏。例：有一台25㎏中频炉，配有2X—70旋片泵和两台ZJ—150罗茨泵加到一起抽也只抽到10 Pa，ZJ—150泵的作用显现不出来，没发现有外漏，却具备了机械泵油很快乳化，真空室内铁基件明显锈蚀的条件，解体设备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏水，剩下就是查出漏点。先把内壁清理干净，再通冷却水，看有无湿润点，湿润处就是漏点。

二、故障点的处理：  

找出故障点就可以因地制宜地进行处理了，简单的办法就是换件，小到胶圈，螺栓；大到阀门，真空泵，只要手头上有的都可以换。对于需要焊接的部位应按要求来进行，焊接后还需确认是否达到了要求。 三、维修时要注意的环节：  

维修应注意几个环节。即拆卸、清洁、检验及装配。  

真空设备无论大小都属于精密机械设备，这点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则，不能蛮干，一定不能用大锤去敲。严禁用手直接接触真空设备内部、内部零件或密封面，设备维修后重新装配前一定要仔细检查密封面有无划伤，并根据实际情况要清洗接触部位和密封面。

清洗零件时要干净，彻底，以便于发现问题和查出隐患。真空泵类产品与一般机械产品有较大区别，一般机械产品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易伤手应多加小心，切记。千万别把楞角倒去。  

检验是个细致活，每个细节都不要落掉，任何细微的地方都可能是问题所在，所以不能存在侥幸心理。  不论是用汽油还是其他溶剂清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶剂彻底挥发了才能进行装配。真空泵油若与其他的油或溶剂或水混合会破坏其性能，影响真空泵的性能指标。胶圈要擦干净，仔细检查有无缺陷和裂纹，尺寸是否正确，尺寸不对将影响密封。凡是有加热位置的胶圈，每次拆卸清洗时必须换，装配时泵件同样需要轻拿轻放；紧螺丝时用力要均，要从对角紧起。动密封多用轴封，上轴封时要细心，先检查轴封本身有无缺陷，密封面是否平整，轴封簧弹性如何，在轴封内侧可薄薄地涂上一层真空脂，上轴封时用力要均，骨架轴封不要压偏了，偏了就会漏油、漏气，轴封簧别挤进去，没了轴封簧轴封就失效了。注意轴封与轴的同心度，有的泵是用对轮连接的，对轮的同轴性要求很严格，装配时要从轴的四面去量，保证平行一致。罗茨泵的对齿轮调整的关键是两个8型齿轮不相碰。

维修切记不可操之过急，故障没搞清楚就想当然的开始动手拆卸，旧病未除又添新病，把简单的问题复杂化了。