在激光切割加工中，激光焦点实际位置与理想给定位置之间，一旦存在一些外在或内在因素的话，那么会产生偏差。比如，工件表面凹凸不平、工件装夹方式不合适、设备存在几何误差，以及设备或工件的热变形等。其中有些，是可以改进或避免的，而有些误差，则是属于随机误差，只能通过在线监测和控制来进行消除。所以接下来，我们来具体谈谈后者，其讲解如下。
工件几何误差：尤其是板材或覆盖型零件时，由于存在各种原因，有可能会使其表面不平整，再加上热效应的影响，肯定会出现随机误差了，而且是不确定的。
工件装夹位置误差：主要是由加工误差、磨损以及激光烧伤，使得针床表面不平整，从而使得焦点出现随机误差。
编程误差：对于一些复杂曲面，由于存在拟合曲线与实际曲线，这两者不可能是完全一样的，其的偏差会导致误差。此外，系统上，有时也会带来一些偏差。

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