ZM100-10
-25
-50
-75
-100
ZM105-5
-10
-25
量程, mm
10
25
48
75
98
±1х5
±3х10
±5х25
发射端与接收端的间距,L,mm
15-1000
50-100
50-150
50-225
50-300
25
56
63
最小可测物体, mm
0.1
0.5
1
1.5
2
0.03
0.05
0.1
精度, um
±3
±5
±10
±15
±20
±0.3
±0.5
±1
最大测量频率, Hz
10000
2000
2000
2000
2000
2000
10000
10000