目前超声波清洗用超纯水设备制备超纯水采用的技术大体上分为三种，其他超纯水制取技术基本上都是在这三种工艺基础上，进行各种结合衍生开发出来的。针对三种基本超纯水制取工艺，本文现总结以下它们彼此的优缺点。

　　第一种基本超纯水制取工艺是树脂交换制取，这种工艺的优点在于开始时候资金投入少，并且占用面积小，但是不足之处是树脂必须经常进行再生，这样一来，就会导致周围环境收到化学药剂的污染。

　　第二种基本工艺是双级反渗透制取工艺，该工艺特点表现在虽然开始时候资金投入比上一种工艺要多，但是不必经过后期的再生处理，也就不会产生过多的环境污染。但是缺点在于系统所需膜元件清洗频繁，并且更换费用较贵，出水水质不是非常理想，实际应用中只能做到1us/cm左右。

　　超声波清洗用超纯水设备采用的第三种基本超纯水制取工艺是利用反渗透作为预处理单元，主机部分则采用EDI超纯水制取装置，这种工艺同样是目前国际上制取超纯水水质最理想，制备过程最环保的超纯水工艺，此种工艺不需要像第一种工艺那样需要大量的酸碱进行再生，对环境不会产生任何的污染，设备能够不间断制取超纯水，唯一的缺点就是资金投相对以上两种工艺过于昂贵。