请问DMC-1840单位问题 点击:711 | 回复:5



普羅米修斯

    
发表于:2012-03-07 01:50:24
楼主

如AC 20000 count/sec^2

要如何换算成um?

我的光学尺是50nm的

麻烦指导一下,谢谢。



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刘岩利

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发表于:2012-03-07 10:52:41
1楼

既然您的反馈分辨率是50nm,那么每个count就是50nm,也就是0.05um,您直接乘count数就可以了

sdlgzxb

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发表于:2012-03-07 16:23:24
2楼
再不行发5万脉冲压表一看就完了

普羅米修斯

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发表于:2012-03-07 17:13:23
3楼

另外请问一个问题

我的XY平台使用雷射干涉仪的页面量测定位误差不太好

从KP KI KD去调好像也没改善

请问还有哪些地方可以调整的吗?

因为本身不是做控制方面所以要自己学习

很多参数还不是很熟麻烦说明清楚一点,谢谢。

普羅米修斯

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发表于:2012-03-07 23:58:19
4楼

另外再请教一下

速度的单位又是如何换算的呢? 如指令SP 81290

如何换成常看到的m/s^2 ??

 

另外,控制模式会影响到平台的运动精度吗?

这张DMC-1840的控制模式有那些呢? 要如何得知?

不好意思,一下问了这麼多问题

麻烦刘工及各位专家解答囉!谢谢。

刘岩利

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发表于:2012-03-08 12:01:48
5楼

“我的XY平台使用雷射干涉仪的页面量测定位误差不太好”

这个要看是控制误差还是机械误差。如果光栅尺反馈的数值与您给定的数值基本一致,但于干涉仪的读数有比较大的偏差,这样的误差通常是机械偏差,您不可能通过调整控制卡参数来改善的。治本的办法是调整机械结构,改善机械精度。如果机械误差本身有重复性,也可以通过测量误差曲线进行位置补偿。

 

“速度的单位又是如何换算的呢? 如指令SP 81290如何换成常看到的m/s^2 ??”

速度的量纲就是距离除以时间,您知道可位置如何转换,除以相应的时间单位就是速度了。GALIL控制卡上,默认状态下,时间单位是秒。

“另外,控制模式会影响到平台的运动精度吗?这张DMC-1840的控制模式有那些呢? 要如何得知?”

原则上控制模式本身不会影响平台的定位精度,但是不同的控制模式对使用者的能力要求不同,也可以算是间接影响了精度吧。如果说运动过程中的动态精度,不同控制模式下,对运动控制系统不同环节的性能要求侧重不同,也会有比较明显的区别(当然,这也统统受限于机械的状态和调试人员的能力)。

对于GALIL的控制卡来说,控制模式有两种,一种是脉冲输出的开环控制方式,一种是模拟电压输出的闭环控制方式。

SSI ļʱ