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“我的XY平台使用雷射干涉仪的页面量测定位误差不太好”
这个要看是控制误差还是机械误差。如果光栅尺反馈的数值与您给定的数值基本一致,但于干涉仪的读数有比较大的偏差,这样的误差通常是机械偏差,您不可能通过调整控制卡参数来改善的。治本的办法是调整机械结构,改善机械精度。如果机械误差本身有重复性,也可以通过测量误差曲线进行位置补偿。
“速度的单位又是如何换算的呢? 如指令SP 81290如何换成常看到的m/s^2 ??”
速度的量纲就是距离除以时间,您知道可位置如何转换,除以相应的时间单位就是速度了。GALIL控制卡上,默认状态下,时间单位是秒。
“另外,控制模式会影响到平台的运动精度吗?这张DMC-1840的控制模式有那些呢? 要如何得知?”
原则上控制模式本身不会影响平台的定位精度,但是不同的控制模式对使用者的能力要求不同,也可以算是间接影响了精度吧。如果说运动过程中的动态精度,不同控制模式下,对运动控制系统不同环节的性能要求侧重不同,也会有比较明显的区别(当然,这也统统受限于机械的状态和调试人员的能力)。
对于GALIL的控制卡来说,控制模式有两种,一种是脉冲输出的开环控制方式,一种是模拟电压输出的闭环控制方式。